Formarea de pelicule subţiri

1. coagularea este rezultatul de adsorbţie reciprocă de matrice moleculele şi atomii evaporare

În vid, atunci când anumite energie de evaporare atom ştirbeşte pe suprafaţa substratului, schimbul de energie cu moleculei de substrat este realizată de câmpul de forţă din suprafața substratului şi adsorbţie fizică şi chemisorption să apară între evaporarea atomului şi moleculei de substrat. Adsorbţie fizică este orice două forţe Vander Waals aproape unul de altul, între molecule, şi chimice de adsorbţie este legătura chimică între atomi. Nu toate de evaporare atomi adsorbția cu molecule de substrat, unele dintre atomii pastra cea mai mare parte din energia lor, si coliziunii s-a întâmplat după reflecţie, chiar şi acele atomi evaporată adsorbit el încă pot fi transferate pe suprafaţa de substrat sau de desorbție şi lasă suprafața substratului. În plus, pe suprafaţa substratului, există o asociere între atomi evaporat şi acelaşi tip de atomi adsorbit pe suprafaţa de substrat. Procesul de evaporare atomi adsorbit de substrat se numeşte aglomerare.

Raportul dintre condensat atom la atom incidente se numeşte coeficientul de coacervation a atomului de evaporare. Din cauza diferite atracţie între atomi, coeficientul de aglomerare de acelaşi tip de atomi de evaporare pentru diferite substraturi este diferit.

Fiecare atom evaporată are diferite temperatura critică de film de formare pentru diferite substraturi şi temperatura de substrat este mai mică decât temperatura critică de film, ea poate fi condensat. Acest fenomen poate fi interpretată ca: când temperatura de substrat este prea mare, atomii evanescenta aducând atingere pe suprafaţa de substrat sunt fie reflectate sau desorbed. În filmul formarea procesului (existente film formeaza baza), deşi temperatura de substrat depășește temperatura critică, filmul poate continua să crească, şi va schimba starea de cristalizare. În stadiu incipient de formare filmele, filmul este in stare amorfa sau corpul vitros, odată cu creşterea temperaturii, filmul treptat trecerea metastabile, în cazul în care această tendinţă continuă, acesta va fi transformat la stable, în cele din urmă în filmele cristalină.

2. formarea procesului de peliculă subţire

La începutul depunerea, la suprafata substratului este absorbit uniform unele evaporare de atomi, interactiunea dintre atomi de evaporare se adună în nişte nuclee care cresc, migraţie, fuziune, formarea unui număr de insule mici (cristal mare nucleii au adunat), suprafaţa bazală a acestor insule creșterii similare una de alta, sunt conectate pentru a forma o mare insula. Cu depuneri, înălţimile de aceste insule şi insule mici sunt în creştere, şi în cele din urmă o structură de reţea cu şanţuri se formează pe întreaga bază de suprafaţă. Rezultatul continuă evaporare, evaporare atomi sunt nucleated, de asemenea, în mod continuu şi insula în tranşee, şi în cele din urmă complet şanţuri treptat sunt umplute. Atunci când sunt umplute şanţuri şi găuri în suprafața de bază, atomii evaporată continua pentru a construi tot felul de filme pe aceste structuri.

Sub microscop, se vede că filmele evaporare termice convenţionale sunt structuri toate cilindrice. Direcţia de cilindru este identic cu cel din film de creştere, dar perpendicular pe interfaţa de film, şi există multe lacune între aceste butelii. Măsurarea diferența totală în film de densitatea de umplere:

Umplere densitate (P) = volumul părții solide a filmului (cilindru) / volumul de film (cilindru + porilor)

Densitatea de umplere este o funcţie de temperatura de substrat şi în cele mai multe cazuri, densitatea de umplere creşte cu creşterea temperaturii de substrat. În general, creşterea ratei de evaporare poate creşte densitatea de umplere, şi efectul de viteza de evaporare este deosebit de importantă atunci când filmul este mai mic. Densitatea de ambalare, de asemenea, creşte odată cu creşterea grosimii film. Aceasta este, probabil, ca urmare a schimbărilor de structură federativă filmul în timpul procesului de formare de film. Poate fi, de asemenea, din cauza blocaj de o parte din porii film în procesul de formare a filmului.