Structura și diagrama schematică a pompei moleculare

Componentele principale ale pompei moleculare sunt lamele rotative și lamelele staționare (figura 1). Viteza de rotație a lamei rotative atinge 1800 la 90000 rpm, viteza la vârful lamei atinge câteva sute de metri pe secundă, apropiată de viteza medie a moleculei. Și moleculele de gaz sunt transportate la orificiul de evacuare prin coliziune cu acesta. Atunci când lama rotativă care este prevăzută să se rotească la viteză mare, probabilitatea ca moleculele de gaze să se deplaseze de la partea de aspirație la partea de evacuare este A și probabilitatea ca moleculele de gaz să se deplaseze de la partea de evacuare la partea de aspirație este B. Pânza rotativă lovește moleculele de gaz, apoi moleculele de gaze ating lovitura fixă și zboară către următoarea lamă rotativă, în final molecula de gaz este scos în orificiul de evacuare, făcând A> B pentru a obține funcția de evacuare.

Viteza de evacuare a pompei moleculare = aria de deschidere a orificiului de aspirație × 11,6 × A / Bp

În formula, p se referă la valoarea de creștere a presiunii.

Cu cât este mai mare unghiul lamei, cu atât viteza de evacuare este mai mică decât raportul de compresie. Dacă unghiul lamei este mic, viteza de evacuare este scăzută, iar raportul de compresie este mare. Viteza de evacuare a pompei moleculare nu este aproape afectată de tipul de gaz și presiunea maximă a pompei poate fi de 10-8 Pa, dar viteza de evacuare va fi redusă pentru moleculele / atomii de lumină.

Ca un tip de pompă mecanică cu viteză mare de rotație, pompa moleculară necesită un echilibru ridicat și este foarte fragilă pentru materia străină solidă. Deci, de obicei, un filtru de metal este instalat la intrarea acestuia. Când funcționează pompa moleculară, lamele se pot deteriora dacă presiunea se deteriorează brusc.

Fig.1 Structura și diagrama schematică a unei pompe moleculare

Pompele moleculare convenționale utilizează rulmenți pentru a asigura rotația rapidă a lamelor. Dar pompa moleculară de tip nou adoptă o structură de levitație magnetică, ceea ce face ca viteza lamei să crească continuu și, în același timp, pompa moleculară este mai potrivită pentru sistemul de vid ultra-înalt, de asemenea, prelungește durata de viață a pompa moleculară.

În comparație cu pompele cu rotor cu etanșare la ulei și cu pompe de tip turbo, pompele moleculare au un mediu de lucru mai curat și pot atinge nivele de vid extrem de ridicate. Cu toate acestea, pompele moleculare nu pot funcționa la presiune atmosferică și trebuie utilizate în combinație cu alte pompe de aspirație (pompe cu rotor cu etanșare la ulei sau pompe turbo-uscate) care pot funcționa la presiune atmosferică. Pompa moleculară are o structură complicată și un preț ridicat, iar în timpul rotației de mare viteză există vibrații.