Analiza capacității de transport a energiei electrice a obiectivelor de pulverizare Magnetron

  1. Zona țintă și intervalul de putere de încărcare

(1) Densitatea de putere a țintei plane magnetron circular este în general de 1 ~ 25w / cm2

(2) Densitatea de putere a țintei magnetron plane rectangulare este de 1 ~ 36w / cm2

(3) Densitatea de putere a țintei de magnetron coloană și a țintei magnetron plane conice (pistolul S) este în general de 40 ~ 50w / cm2.

2. Puterea reală de transfer a țintei de magnetron

Pe lângă tehnologia de pulverizare și cerințele de calitate a filmului, puterea efectivă de rulare a țintei de magnetron este, de asemenea, strâns legată de condițiile de răcire și de condițiile de disipare a căldurii.

Obiectivele Magnetron pot fi împărțite în două tipuri: "țintă directă de răcire cu apă" și "țintă indirectă de răcire a apei" pe baza metodei de răcire.

Având în vedere îmbătrânirea țintei după utilizarea pe termen lung, condițiile de disipare a căldurii sunt reduse și luând în considerare coeficienții diferiți de transfer de căldură ai diferitelor materiale țintă, puterea maximă de încărcare a țintei de magnetron și puterea maximă reală a țintei directe de răcire cu apă poate fi setat ușor mai puțin decât limita superioară a domeniului densității de putere. Iar sarcina maximă reală a țintei de răcire indirectă a apei poate fi setată la aproximativ jumătate din limita superioară a domeniului densității de putere.

Atunci când țintele magnetron (în principal, Cu, Ag, Brass și Al bronz) "auto-sputtering", de obicei, utilizează o țintă de pulverizare magnetron care este proiectată special pentru a "direcționa apa rece". Puterea finală de transport pentru utilizare trebuie să fie mai mare decât limita superioară a domeniului de densitate a puterii țintă.