Problemele au nevoie de atenție la alegerea obiectivelor PVD de acoperire

La alegerea țintelor, cu excepția aplicării acoperirilor, trebuie luate în considerare și următoarele aspecte:

◆ Acoperirea care se depune prin ținte trebuie să aibă o bună rezistență mecanică și o stabilitate chimică

◆ Acoperirea care se depune prin ținte trebuie să aibă o forță de legare bună cu substratul. În caz contrar, materialele de acoperire cu o bună forță de legare la substrat ar trebui să fie utilizate și, în primul rând, pulverizarea și depunerea unei membrane bazale și apoi prepararea acoperirilor dorite.

◆ Deoarece stratul de acoperire este format prin pulverizare reactivă, materialele de acoperire trebuie să fie ușor de reacționat cu un gaz și să genereze pelicule compuse.

◆ Sub premisa îndeplinirii cerințelor de performanță a acoperirilor, cu cât este mai mică diferența dintre coeficientul de dilatare termică dintre țintă și substrat, cu atât mai bine, astfel încât să se reducă influența stresului termic.

◆ Obiectivul trebuie să îndeplinească cerințele tehnice de puritate, conținutul de impurități, uniformitatea componentelor, precizia prelucrării și așa mai departe.