Efect de fabricare pe grosime strat de acoperire PVD

Cel mai important lucru în procesul de acoperire PVD este metoda de prindere, care va determina grosimea si uniformitatea de acoperire. Şi nu există nici o îndoială că grosimea de acoperire afecteaza viata sa de serviciu. Cu toate acestea, nu este mai gros stratul, mai bine sa speranţa de viaţă. Pe aceeasi piesa de prelucrat, altă aplicaţie necesită diferite grosimi. Şi piesa de lucru diferite, de asemenea, are nevoie de grosimi diferite. Deci, controlul grosimii de acoperire este important.

Grosimea stratului este determinată în principal de regimul de acoperire. Anumite proceduri au o anumită gamă de grosimea de acoperire, şi grosimea de acoperire variază substanţial în acest interval. Cu toate acestea, metoda de prindere a piesei de prelucrat, de asemenea, foarte mult afectează grosimea de acoperire. Sub necorespunzătoare de prindere, grosimea de acoperire va depasi intervalul stabilit de program.

Dimensiunea de rotaţie a piesei de lucru afectează grosimea de acoperire. Pieselor trebuie rotit în camera în timp ce fiind acoperite. Există trei moduri de rotaţie a piesei de prelucrat: single-dimensiune de rotaţie, bidimensional de rotaţie şi tri-dimensională de rotaţie. Pentru aceeaşi acoperire procedură, mai multe dimensiuni de rotaţie, stratul mai subtire. Grosime strat bidimensional spin este de aproximativ 5 ori grosimea stratul de spin tridimensional, şi grosimea stratului unidimensionale spin este de aproximativ 1,5 ori grosimea stratului bidimensional spin. Presupunând o grosime de strat de o rotaţie tridimensional este 2um, şi apoi grosimea strat bidimensional rotative piesa de prelucrat este despre 3um, în timp ce grosimea de acoperire a single-dimensionale rotativ spin poate ajunge la 4.5um sau mai multe.

Piesa de prindere, densitatea de piesa de prelucrat, de asemenea, afectează grosimea de acoperire. Grosimea de acoperire a piesei de prelucrat unde prinse intens este mic, şi grosimea de acoperire a piesei de lucru în cazul în care slab fixata este mare.

Figura de mai sus arată distribuţia grosimea stratului pe un singur dinte de aragaz. Figura de mai jos prezintă distribuţia grosimea stratului la poziţii diferite de un burghiu.

Astfel se poate observa că grosimea de diferite părţi ale funcţiei foarte mult este afectată de prindere, astfel încât trebuie să stabilim metoda de prindere pe baza experienţei.