Care este procesul specific de acumulare a luminanței în principiul magnetronului de sfințare este ar gazionat

Care este procesul specific de acumulare a luminanței în principiul de sfințare magnetron? este ar gaz ionizat?

Sub acțiunea unei tensiuni aplicate între electrozii pozitivi și negativi, atomii de gaz dintre electrozi vor fi ionizați. În procesul de ionizare, unii atomi Ar sunt ionizați în ioni și electroni Ar+. Electronii sunt accelerați spre anod de către câmpul electric, iar ionii Ar+ încărcați pozitiv accelerează spre ținta catodului în timpul acțiunii câmpului electric și eliberează energia corespunzătoare în coliziunea cu suprafața țintă. Unul dintre rezultatele impactului ionilor cu o anumită energie asupra țintei este că atomii de pe suprafața țintă câștigă o anumită energie și părăsesc suprafața țintă pentru a se deplasa spre substrat. În procesul de sputtering, există alte particule de urme, inclusiv emisiile de electroni secundare din catod.
Aceasta este o descărcare de gaz, iar tensiunea este, de obicei, în kilovolții superiori. Dar magnetron sputtering este diferit,
În timpul salnării magnetronului, există un câmp magnetic pe suprafața țintei, astfel încât electronii pot fi legați în jurul țintei fără a fi pierduți, formând un fenomen de descărcare de gestiune auto-susținut, iar tensiunea scade în mod natural la câteva sute de volți. În timpul descărcării de auto-susținere, cea mai mare parte a ionizării argonului este cauzată de bombardarea electronilor liberi.

e- + Ar → Ar + 2e-

Dacă sunteți interesant de protecție a mediului de tip de acoperire, contactati-ne acum, E-mail:iks.pvd@foxmail.com,mai multe detalii despre producția mașinilor de acoperire în vid PVD-IKS PVD Tehnologie (Shenyang) Co, Ltd