Set pompe de vid ultra-înalt

Set pompe de vid ultra-înalt
Unitatea de vid ultra-înalt funcționează în intervalul de presiune ultra-înalt de 10-6 ~ 10-10Pa, în plus față de cerința ca materialul camerei de vid să aibă o rată de ieșire de gaz foarte scăzută, un Rată foarte mică de scurgere a gazului și poate rezista la coacere la temperaturi înalte de 200 ~ 450 de grade, cerințele pentru unitate includ, de asemenea:
(1) gradul de vid final al pompei principale ar trebui să fie ridicat, cu cel puțin 10-7 ~ 10-8Pa deasupra;
(2) Pompa principală are o anumită viteză de pompare în intervalul de presiune de lucru al vidului ultra-înalt;
(3) Pompa principală a unității sau partea de deasupra admisiei de aer a pompei principale poate rezista la coacere la temperaturi ridicate de 200 ~ 450 de grade;
(4) Presiunea parțială a gazului de reflux (inclusiv vaporii lichid de lucru și gazul dizolvat) la pompa autonomă ar trebui să fie suficient de scăzută;
(5) Pompa principală cu selectivitate puternică a gazului pompat ar trebui să fie echipată cu o pompă auxiliară suficient de mare;
(6) Conductele, supapele și alte componente de deasupra portului de admisie al pompei principale a unității, selectarea și etanșarea materialelor ar trebui să fie deosebit de atentă. În general, se utilizează oțel inoxidabil cu debit scăzut de gaz și structură de etanșare metalică și materiale de etanșare.

Compania IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com