Rezervor de aer
Oct 12, 2023| Rezervor de aer
Grupul de pompă de vid înalt mic al pompei de difuzie este de obicei configurat cu un rezervor de gaz, care este dispus între pompa de difuzie și pompa frontală pentru a stoca gazul evacuat de pompa de difuzie. Motivele pentru setarea rezervorului de gaz sunt:
1) Nevoia de protecție împotriva șocurilor a sistemului
Când sistemul de vid funcționează, unele procese necesită rezistență strictă la șoc, astfel încât fosta pompă mecanică de vid trebuie să nu mai funcționeze pentru o perioadă de timp când camera de vid este în stare de funcționare. În acest timp, gazul evacuat de pompa de difuzie este stocat în rezervorul de gaz, iar rezervorul de gaz este folosit pentru a înlocui pompa mecanică pentru a menține funcționarea normală a pompei de difuzie.
2) Pentru a scurta ciclul de lucru
Unele procese de producție necesită ca camera de vid să fie introdusă în atmosferă în schimbul componentelor și încărcarea fără a închide încălzitorul pompei de difuzie. Pompa frontală a unității de vid este utilizată ca pompă de pre-pompare. După încărcare, camera de vid este pre-pompată cu o pompă mecanică, iar rezervorul de gaz este folosit în acest timp pentru a menține pompa de difuzie (ca pompă frontală).
3) Pentru a preveni o cantitate mare de descărcare instantanee de gaz în camera de vid să afecteze funcționarea normală a pompei de difuzie
În procesul de producție în vid, volumul de evacuare este deosebit de mare într-o anumită perioadă de timp, dar timpul este scurt. Dacă nu este economic să configurați pompa mecanică în funcție de volumul maxim de evacuare în acest moment, rezervorul de stocare pre-etapă poate fi configurat în sistem în acest moment pentru a stoca o parte din gaz la volumul maxim de evacuare pentru a evita presiunea pre-etapă a pompei de difuzie depășind presiunea inversă maximă.
4) Folosit pentru a stabiliza presiunea de ieșire a pompei de difuzie
Deoarece evacuarea pompei mecanice de vid este pulsată, deși frecvența nu este mare (în general de aproximativ 7 ori/s), aceasta va provoca și fluctuații ale presiunii de ieșire a pompei de difuzie, iar setarea rezervorului de gaz poate reduce astfel de fluctuatii.
Compania IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com