PVD grosimea stratului de acoperire și de inspecție
Dec 15, 2018| PVD grosimea stratului de acoperire și de inspecție
IKS PVD, PVD masina de acoperire vid de fabricare din China, contactați-ne acum, iks.pvd @ foxmail.com
Grosimea stratului se referă la suprafața exterioară a stratului de acoperire și la distanța până la suprafața substratului sub acoperire, în general la 0-15um, există numeroase metode de detectare, următoarele introduc aplicația curentă a metodelor mai comune: metoda secțiunii transversale, sferice metoda de marcare și metoda de detecție nedistructivă.
1. metoda secțiunii
Metoda secțiunii este o metodă de detectare distructivă, piesa de prelucrat nu poate fi folosită din nou. Va testa piesa de prelucrat sau mostra de-a lungul tăierii secțiunii de acoperire, sub microscop 1000 × 10000 ori mai mare pentru măsurare, cu cât este mai mare factorul de mărire, din factorii umani, cu atât este mai mare precizia. Limita dintre stratul de acoperire și substrat este foarte evidentă și este convenabil să se măsoare pe scală în sem. Distanța dintre punctele de început și de sfârșit ale riglei este grosimea stratului de acoperire. măsurarea este exactă sau nu este de a judeca corect limita dintre stratul de acoperire și substrat, în caz contrar va aduce erori.În cazul în care interfața dintre acoperire și substrat este fuzzy, cel mai bine este de a nu utiliza această metodă de măsurare.În general, metoda de măsurare este intuitivă și precisă. În plus, atunci când această metodă este utilizată pentru măsurare, este mai bine să se respecte secțiunea, care ar trebui să fie relativ plat. În caz contrar, trebuie efectuată o prelucrare manuală pentru a face secțiunea chiar și pentru observare și măsurare.
Oglinda cu ulei poate fi, de asemenea, utilizată pentru a observa secțiunea de acoperire pentru măsurare. Eșantionul tăiat este plasat în pulbere de plastic pentru presare, ardere și formare într-o mostră bloc, iar apoi suprafața testată este șlefuită și suprafața testată este șlefuită și egalizată. În timpul măsurării, aerul pompat din ulei se măsoară între obiectivul obiectivului și suprafața măsurată pentru a reduce interferențele.
2. Ball-Crater
Metoda de marcare cu bile este să se utilizeze un anumit diametru de bilă de oțel pe suprafața șlefuitului de acoperire, acoperirea și matrița șlefuind o groapă, o secțiune de măcinare cu bilă pentru un arc. Cerințele de funcționare a măcinării sunt aceleași cu cele ale testului cu bilă, care măsoară aderența stratului de acoperire. După șlefuirea cu bile, imaginea este observată sub microscop prin sistemul de imagistică și sub monitor.
Aspectul piesei de prelucrat va fi deteriorat prin metoda marcajului cu bile. Dacă punctul de detecție nu este în zona funcțională, de obicei nu va afecta reutilizarea acestuia. Cu toate acestea, pentru a evita erorile, este necesar să se discute cu și să se obțină consimțământul proprietarului de artefact înainte de a testa această metodă.
3. încercarea nedistructivă (NDT)
Metoda de testare nedistructivă este de a detecta grosimea stratului de acoperire pe piesa de prelucrat, fără a deteriora piesa de prelucrat. Există mai multe tipuri de metode NDT, în general, testele nedistructive trebuie să furnizeze substratul și compoziția de acoperire sau să furnizeze o piesă de probă pentru a analiza datele de referință, în test, vor fi măsurate, iar compoziția compoziției de acoperire se compară cu blocurile de mostre principale deduce teoria grosimii stratului de acoperire, deci, pentru diferite substraturi și compoziții de acoperire de analiză, face programul de măsurare, și apoi la măsurarea efectivă. Desigur, unele instrumente pot fi măsurate direct fără a face blocuri de probă, dar eroarea este mare. Această secțiune introduce în principal fluorescența cu raze X (XRF).
Instrumentul XRF este alcătuit în principal din sursa de excitație a razelor X și din sistemul de detectare. Tubul de raze X produce raze X pe bază de raze (se măsoară radiația sau piesa de prelucrat, fiecare element al piesei de prelucrat este motivat, razele secundare emise de diferitele elemente cu caracteristici energetice specifice (adică, în funcție de caracteristica energetică a tipurilor de raze secundare și a conținutului elementelor pot învăța). Sistemul de detecție măsoară energia și cantitatea acestor raze secundare excitate. convertește informațiile despre energie și cantitatea detectate în elemente și conținuturi corespunzătoare, astfel încât tipul și conținutul elementelor din piesa de lucru testată să poată fi detectate. Folosind principiul fluorescenței cu raze X, fiecare element din tabelul periodic poate fi măsurat teoretic. , în practică, intervalul efectiv de măsurare elementară este de la elementul 11, sodiu (Na), element 92, uraniu (U).
Conform principiilor de mai sus, atunci când se măsoară grosimea stratului de acoperire a probei, XRF analizează compoziția elementului matricei și, respectiv, acoperirea. În general, compoziția elementului de acoperire este foarte diferită de cea a matricei. Prin urmare, software-ul de calcul poate calcula grosimea stratului de acoperire. Dacă compoziția elementului de diferite substraturi și straturi de acoperire este detectată separat în avans și stocată în baza de date computerizată ca standard, atunci când se detectează XRF, compoziția elementului detectat este comparată cu standardul pentru a găsi tipul de matrice și de acoperire corespunzător și a judeca interfața între acoperire și substrat, pentru a măsura mai precis grosimea stratului.