Introducerea biasului
Feb 09, 2018| Tensiunea de polarizare se referă la tensiunea negativă aplicată pe substrat în timpul procesului de acoperire. Terminalul pozitiv al sursei de alimentare bias este conectat la camera de vid, în timp ce camera de vid este legată la pământ. Terminalul negativ al tensiunii de polarizare este conectat la piesa de prelucrat. Deoarece tensiunea pământului este, în general, considerată a fi potențial zero, tensiunea pe piesa de prelucrat care este părtinirea negativă, denumită părtinire.
1. Funcția de părtinire negativă
◆ Asigurați energie din particule;
◆ Efect de încălzire pe substrat;
◆ Îndepărtarea murdăriei de gaze și grasimi adsorbite pe substrat este benefică pentru a îmbunătăți rezistența de lipire a filmului;
◆ Activați suprafața substratului;
◆ Pentru particulele mari în placarea cu ioni de arc au efect de purificare.
2. Clasificarea tensiunii de polarizare
(1) În funcție de forma de undă pot fi împărțite în:
DC părtinire DC părtinire impuls
Suprapunerea pulsului DC suprapus Bipolar puls bias
(2) Conform necesității de comutare a tensiunii de înaltă tensiune și a tensiunii joase atunci când se utilizează energia electrică, ea poate fi împărțită în:
Diagrama puterii de ieșire a comutatorului de tensiune înaltă și joasă
Nu este nevoie să comutați ieșiri de reglare continuă în trepte joase și joase
Parametrii reglabili ai alimentării cu polarizare: amplitudinea părtinii, raportul de funcționare, frecvența și forma de undă.
3. Caracteristica sursei de alimentare bias
◆ Numărul de arme de stingere pe minut.
◆ Detectarea sensibilității arcurilor mari (mJ / kW de energie arc detectabilă).
4. Încărcarea caracteristică pentru părtinire
Sarcina de lucru a prejudecăților este plasmă, iar plasma prezintă rezistență atunci când se folosește polarizarea DC. Pe de altă parte, atunci când se aplică polarizare pulsată, plasma prezintă rezistență + capacitivă, care poate fi considerată o serie de conexiuni de rezistori și condensatori. Esența capacității este cauzată de teaca de plasmă pe substrat.
