Echipamentul de acoperire prin evaporare cu fascicul de electroni
Mașină de acoperire optică EB PVD, aplicații: Ochelari de vedere, oglindă reflectorizantă, panou mobil, capac de protecție, comunicare optică, afișaj optic etc.
- Introducerea Produsului
IKS-OPT2700 Mașină de acoperire optică cu evaporare cu fascicul de electroni
L Aplicații:
Ochelarii de vedere, oglinda reflectorizantă, bancul de telefon mobil, capacul de protecție, comunicarea optică, afișajul optic etc
L Echipamente Brief
IKS-OPT2700 este proiectat pentru acoperirea filmului optic cu suprafață mare, Este mașină de acoperire prin evaporare cu fascicul de electroni. Sistemul mașinii de acoperire constă din camera de vid, pompa de vid, detecția și controlul vidului, sistemul de încălzire substrat, sistemul de evaporare cu fascicul de electroni, sistemul de depunere asistată de surse de ioni, sistemul de evaporare a rezistenței, sistemul de monitorizare a grosimii filmului, sistem de rotație a pieselor și acoperire automată controlată de PLC.
Materialul de evaporare este utilizat în mod obișnuit de metale rare, cum ar fi fluorura de ytriu, fluorura de praseodimiu, germaniu, sulfură de zinc, fluorură de magneziu, dioxid de titan, dioxid de siliciu, zirconiu, cobalt, galiu, seleniu și alte metale. Cuprul, molibdenul, siliciul, germaniul și alte metale sunt utilizate în mod obișnuit în materialele optice ale reflectorilor.
Poate fi acoperit cu film de lumină vizibilă, film reflectorizant din aluminiu, film anti-amprentă AF, film organic cu punct de topire redus, film de spectroscopie cu lumină vizibilă, film antireflexiv cu lumină vizibilă etc.
L Caracteristicile echipamentului
IKS-OPT2700 sistem de acoperire cu peliculă optică mare, cu ajutorul structurii cu cameră de vid re-optimizare, aspect inovator de pompare criogenică, design stabil al cadrului rotativ al piesei de lucru, sistem avansat de evaporare a fasciculului de electroni, dispozitiv de ajustare a uniformității reglabile, un mediu de proces stabil în vid, a obținut cel mai bun proces de acoperire, a primit produse de înaltă calitate acoperite.
1. Dimensiunea camerei; Ф2700 × H1670 | 8. spațiu: L6 × w5,5 × H3,5m |
2. Gradul de vid: ultimul vid: 6 × 10 -4 Pa ( fără încărcătură timp de 24 de ore fără încălzire ) | 9. Greutate: 8000kg, Greutatea podelei > 1000kg / m2 |
3. Rata scurgerilor: 4 × 10 -3 Pa × L / S (verificarea scurgerilor de heliu) | 10. Temperatura : La temperatura camerei până la 250 ℃ , uniformitatea temperaturii ± 5% |
4. Vacuum de lucru: 6 × 10 -3 Pa ( pornire automată a procesului ) | 11. Alimentare cu energie: în trei faze, 380V , 50Hz , 60-100KW |
5.Suport scăzut: 10 minute <> Pa | 12. Răcirea apelor: debitul camerei > 4000L / H , debit pompă > 1800L / h, compresor de refrigerare > 1600L / H |
6. Vacuum mare: 6 minute 8 × 10 -3 Pa | 13.Aerba caldă: Sursa de evaporare1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Măsurarea vidului: monitorizarea întregului proces și colectarea punctului în timp real |
L Parametri tehnici
Monitorizarea grosimii filmului
| 1. Control integrat PLC 2. Depunere film fin, 0.01nm / s 3. Corespondență rapidă corespondentă, legătura cu pistolul de electroni |
Controlul debitului | Domeniu de control: 3 ~ 100sccm , 5-500sccm, Legătura precisă cu sursa de ioni, control sincron, controlul debitului, Producția stabilă, energia ionică stabilă este stabilă |
Sursa E-beam | Tip: 10KW, o deformare de 270 de grade. Ruptura mai puțin de 0,5%, forma precisă și mărimea punctului de control precis, stabilitatea funcționării sistemului și precizia ridicată. Tipul de pistol: filament de tungsten, tip durabil |
Rezistența la evaporare | Tip: Barca cu wolfram se evaporă prin încălzire. Cantitate: Două seturi de electrozi, alegeți instalarea. Potrivit pentru procesul special de acoperire, vizează materialele funcționale sau materialele metalice pentru a obține funcția de evaporare |
Sursă de ioni | Tip: 4KW sursă de ioni de Hall, fascicul luminos, unghi larg de divergență, anod detașabil, întreținere și curățare este foarte simplu |
Sistem de control | Interfață PC: 17inch, 1set. TP touch screen: 15 omcjes. Sistem principal: IKS Control automat logic programabil. Sistem automat de control al proceselor dezvoltat de IKS PVD, este un sistem inteligent de operare pentru înregistrarea în timp real a proceselor și feedback-ul unor defecțiuni. Integrare perfectă, design umanizat și satisfacerea nevoilor personalizate , pentru asigurarea unui design sigur și inteligent al sistemului de operare. controlul funcționării. |
Design sigur | Întrerupător principal de circuit de circuit, protecție la pământ, Alarmă anormală a componentelor, Protecția sistemului de monitorizare în timp real a sistemului |
L Superioritatea produselor
Inovație tehnologică
1. Integrarea rezonabilă a produselor și a rezultatelor tehnologice de inovare, îmbunătățirea mediului de proces, pentru a obține o funcționare stabilă a sistemului de acoperire!
2. Inovația de proiectare a structurii produsului este rezonabilă, fermă, concisă, întreținerea este convenabilă! (designul utilizatorilor!)
3. Dezvoltarea inovației de operare și de operare, operare simplă, eficientă și practică!
4. Produse și tehnologie de proces pentru a obține un proces de acoperire de înaltă calitate, pentru a îmbunătăți eficiența, uniformitatea, repetabilitatea excelentă!
5. Obțineți un control inteligent al funcționării sistemului de acoperire!
6. Optimizarea sistemului de siguranță, solicitarea de eroare, rezolvarea detaliată a soluției!
7. Reducerea costurilor ridicate de eficiență, de producție și de gestionare!
Caracteristică tehnologică
1. Designul produsului, prin tehnologia perfectă IKS și performanța produsului fără sudură integrare de andocare, pentru a crea fiabile, stabile
Sistem de acoperire fix, sigur, inteligent!
2. Achiziția în vid, proiectarea re-optimizată a sistemului de aspirație a vidului, pentru a satisface mediul de vid rapid și stabil!
3. Sursa de evaporare și sursa de ioni, aspect rezonabil și tehnologie de procesare de înaltă calitate, tehnologie de punere în funcțiune, pentru a realiza procesul
Procesarea automată a procesului, structura inovativă a fasciculului de electroni și depunerea exactă a garanției de rată a garanției sunt mai precise și stabile!
4. Sistem automat de control al funcționării, noua dezvoltare a unui sistem precis și stabil! Configurare simplă, operare ușoară!
Produsul acoperit
Tag-uri populare: echipamente de acoperire prin evaporare cu fascicul de electroni, China, producatori, furnizori, cumpara, personalizate, fabricate in China
