Masurator de debit masic
Contorul de masă D07-7KM Introducere Contorul de masă (MFC) constă din trei dispozitive de bază: senzor de debit, by-pass de divizare a debitului și placă de circuite imprimate, măsoară cu precizie debitele maselor, volumul gazului fluctuat datorită schimbărilor de temperatură. MFC se aplică pe scară largă în domeniile ...
- Introducerea Produsului
Introducere
Contorul de debit de masă (MFC) este alcătuit din trei dispozitive de bază: senzor de debit, by-pass de divizare a debitului și placă de circuite imprimate, măsurând cu acuratețe debitele de masă despite volumul de gaz fluctuat datorită schimbărilor de temperatură. MFC se aplică pe scară largă în domeniile fabricării semiconductoarelor și IC, științelor materialelor speciale, industriei chimice, industriei petrolifere, industriei farmaceutice, protecției mediului, cercetării sistemelor de vid etc.
Aplicație tipică
Aplicațiile tipice ale MFC includ echipamente de procesare microelectronică, cum ar fi difuzia, oxidarea, epitaxia, CVD, plasma, gravarea, pulverizarea, implantarea ionilor și alte domenii, cum ar fi echipamentele de depunere în vid, topirea fibrelor optice, , sistemul de control al fluxului capilar, cromatograful de gaz și alte instrumente analitice.
D07-7KM MFC are avantajele unei precizii ridicate, duratei de viață îndelungate, repetabilității excelente, reacției rapide, pornire ușoară, fiabilitate bună, domeniu de presiune largă (funcționare bună în condiții de presiune înaltă sau în vid), operare ușoară și convenabilă etc. Poate fi instalat ori de câte ori este necesar și conectat cu computerul pentru a realiza control automat.
Specificație
Ranguri de flux | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Precizie | ± 1,5% FS |
Liniaritatea | ± 1% FS |
repetabilitatea | ± 0,2% FS |
Timp de raspuns | ≤ 4 sec |
Coeficientul de temperatură | Zero: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Presiune maximă | 3MPa |
Temperatură de lucru | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Material de etanșare | Viton, Neopren |
Semnal de setare / ieșire | 0V ~ + 5.00V (Impedanță de intrare> 100K, Curent de iesire ≤3ma) |
Alimentare electrică | + 15V 50mA -15V 50mA |
Conexiune electrica | D sub 15 pini Femeie |
Presiune diferențială | <0,01> |
Rata de scurgere | 1 × 10-8atm • cc / sec El (1 × 10-9 Pa • m3 / sec He) |
Standard Joint | Swagelok Φ8, Swagelok Φ6, Swagelok Φ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Inner) × 1 Cuplaj de furtun, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 |
Mass-media | Toate gazele |
Emi | CE |
Greutate | 0.92 kg |
Dimensiunea instalării
