Procesul de curățare prin aspirație Procedurile de curățare a mașinii de curățat prin aspirație

Procedura de curățare prin aspirație cerințele de curățare a mașinii de acoperire cu vid

Curățarea prin aspirație este în general definită ca procesul de îndepărtare a materialului nedorit de pe piesa de prelucrat sau de suprafața materialului de sistem înainte de un proces de vid. Este necesar să se curețe suprafața pieselor de vid, deoarece sursa de gaz și de abur cauzată de poluanți va face sistemul de vid să nu obțină gradul necesar de vid. În plus, datorită prezenței poluanților, componentele de vid vor afecta puterea conexiunii și performanța de etanșare.

A. Curățarea prin încălzire prin vid

Așezați piesa la presiune normală sau la încălzire prin vid. Pentru a promova evaporarea impurităților volatile la suprafață pentru a atinge scopul curățării, efectul de curățare al acestei metode este legat de presiunea de mediu a piesei de lucru, durata de retenție în vid, temperatura de încălzire, tipurile de poluanți și materialele de prelucrat . Principiul este acela de a încălzi piesa de prelucrat. Se îmbunătățește desorbția moleculelor de apă și a diferitelor molecule de hidrocarburi adsorbite la suprafață. Gradul de creștere a desorbției depinde de temperatură. În cazul vidului ultra-înalt, suprafața trebuie încălzită deasupra a 450 de grade pentru curățarea la scară atomică. Metoda de curățare prin încălzire este deosebit de eficientă. Dar, uneori, acest tratament poate avea efecte secundare. Ca urmare a încălzirii, anumite hidrocarburi se pot agrega în agregate mai mari și se pot descompune simultan în zgură de carbon.

B. Curățarea UV

Hidrocarburile de pe suprafață se descompun prin iradiere cu radiații ultraviolete. De exemplu, expunerea la aer timp de 15 ore poate produce o suprafață de sticlă curată. Dacă o suprafață corectă pre-curățată este plasată într-o sursă de ultraviolete care generează ozon. O suprafață curată (curățarea procesului) poate fi formată în câteva minute. Acest lucru sugerează că prezența ozonului crește rata de curățare. Mecanismul de curățare este după cum urmează: în cazul iradierii ultraviolete, moleculele de murdărie sunt stimulate și disociate, în timp ce ozonul este generat și există pentru a produce oxigen atomic foarte activ. Moleculele de murdărie excitate și radicalii liberi produsi prin disocierea murdăriei reacționează cu oxigenul atomic. Formează molecule mai simple, mai volatile. Cum ar fi H203, CO2 și N2. Rata de reacție crește odată cu creșterea temperaturii.

C. Curatarea descarcarilor

Această metodă de curățare este utilizată pe scară largă pentru curățarea și degazarea sistemelor de vid în vid și a sistemelor ultra-înalte de vid. În special în echipamentele de acoperire cu vid utilizate cel mai mult. Utilizați un fir fierbinte sau un electrod ca sursă de electroni. Desorbția gazului de bombardament ionic și îndepărtarea anumitor hidrocarburi pot fi obținute prin aplicarea unei presiuni de polarizare negativă asupra suprafeței ce urmează a fi curățată. Efectul de curățare depinde de materialul electrodului, geometria și relația cu suprafața. Depinde de numărul de ioni pe suprafață și de energia ionilor. Depinde de puterea electrică efectivă. O cameră de vid este umplută cu un gaz inert (în mod obișnuit gaz Ar) de presiune parțială adecvată. Scopul curățării poate fi realizat prin bombardarea ionică dintr-o descărcare cu descărcare la presiune scăzută între doi electrozi adecvați. În metodă. Gazul inert este ionizat și bombardează peretele camerei de vid, alte părți structurale ale camerei de vid și substratul acoperit, care poate împiedica anumite sisteme de vid să fie coapte la temperaturi ridicate. O mai bună curățare a anumitor hidrocarburi poate fi obținută dacă oxigenul este adăugat la gazul încărcat. Oxigenul este îndepărtat cu ușurință de sistemul de vid, deoarece oxigenizează anumite hidrocarburi într-un gaz volatil. Componentele principale ale impurităților pe suprafața vaselor în vid din oțel inoxidabil și vase ultra-înalte sunt carbon și hidrocarburi. În general, carbonul nu este volatil. După curățarea chimică, este necesar să se introducă gazul de amestec Ar sau O2 pentru curățarea cu descărcare prin strălucire, astfel încât impuritățile de pe suprafață și gazul legat la suprafață datorită acțiunii chimice să poată fi îndepărtate. În curățarea cu descărcare prin strălucire. Parametrii cei mai importanți sunt tipul de tensiune aplicată (ac sau dc), tensiunea de descărcare, densitatea curentului, tipul de gaz umplut și presiunea. Parametrii cei mai importanți sunt tipul de tensiune aplicată (ac sau dc), tensiunea de descărcare, densitatea curentului, tipul de gaz umplut și presiunea. Parametrii cei mai importanți sunt tipul de tensiune aplicată (ac sau dc), tensiunea de descărcare, densitatea curentului, tipul de gaz umplut și presiunea. Durata bombardamentului. Forma electrodului și materialul și poziția părților care trebuie curățate

D. Înroșirea gazelor

1. Înroșirea azotului

Atunci când azotul este adsorbit pe suprafața materialului, timpul de adsorbție este extrem de scurt datorită energiei mici de adsorbție. Chiar dacă este adsorbit pe peretele dispozitivului, este ușor de îndepărtat. Timpul de pompare al sistemului poate fi redus foarte mult prin utilizarea acestei proprietăți a azotului pentru spălarea sistemului de vid. De exemplu, înainte ca mașina de acoperire cu vid să fie introdusă în atmosferă, azotul uscat este umplut mai întâi în camera de vid și apoi umplut în atmosferă, apoi timpul de pompare al ciclului de pompare următor poate fi scurtat cu aproape jumătate, motivul fiind că energia de adsorbție a azotului este mult mai mică decât cea a moleculelor de gaze de apă. După ce azotul este umplut în vid, moleculele de azot sunt mai întâi absorbite de peretele camerei de vid. Pe măsură ce situsul de adsorbție este fixat, acesta este mai întâi umplut cu molecule de azot, iar moleculele de apă adsorbite sunt foarte mici, reducând astfel timpul de extracție. Dacă sistemul este contaminat de stropirea uleiului pompei de difuzor, sistemul contaminat poate fi de asemenea curățat prin metoda de spălare cu azot. În general, poluarea cu ulei poate fi eliminată prin încălzirea sistemului în timp ce se curăță sistemul cu azot.

2. Înroșirea gazelor de reacție

Această metodă este deosebit de potrivită pentru curățarea internă (eliminarea contaminării cu hidrocarburi) a sistemelor mari din oțel inoxidabil cu vid în vid. Pentru camerele de vid și componentele de vid ale unor sisteme de vid de mari dimensiuni, metodele standard pentru eliminarea poluării de suprafață sunt curățarea chimică, prăjirea cuptorului în vid, curățarea cu descărcare prin străpungere și sistemul original de vid pentru copt în energie, etc. obține suprafața curată a stării atomice. Metodele de curățare și de degazare de mai sus sunt adesea folosite înainte și în timpul instalării sistemului de vid. După instalarea (sau funcționarea) sistemului de vid, este dificil să degazați diferitele părți ale sistemului de vid, deoarece acestea au fost fixate. Odată ce sistemul este (accidental) contaminat (în principal de molecule cu un număr mare de atomi, cum ar fi hidrocarburile), acesta este de obicei dezasamblat, prelucrat și apoi instalat din nou. Procesul de gaz de reacție poate fi utilizat pentru degazare on-line on-line. Mecanismul său de curățare: gazul de oxidare (O2, NO) și gazul de reducere (H2, NH3) sunt menționate în sistem pentru a efectua curățarea chimică pe suprafața metalică pentru a elimina poluarea, pentru a obține suprafața metalică curată în stare atomică. Rata oxidării / reducerii de suprafață depinde de starea de contaminare și de materialul de pe suprafața metalică. Rata reacției de suprafață este controlată prin reglarea presiunii și a temperaturii gazului de reacție. Pentru fiecare substrat, parametrii precisi sunt determinați experimental. Acești parametri sunt diferiți pentru diferite orientări cristaline.

Proceduri de curățare a mașinii de acoperire cu vid

Materialul de aspirație trebuie curățat înainte de procesarea vidului pentru a îndepărta contaminanții de pe suprafața materialului prelucrat sau din materialul sistemului; De asemenea, este foarte necesar să se curețe suprafața pieselor de vid, deoarece sursa de gaz și de abur cauzată de poluanți nu numai că sistemul de vid nu poate obține gradul de vid necesar. În plus, datorită prezenței poluanților, aceasta va afecta, de asemenea, performanța de etanșare și de etanșare a racordurilor de vid.

Poluanții pot fi definiți ca "orice substanță sau energie inutilă". În funcție de starea fizică a poluanților, ele pot fi împărțite în particule solide, gaze și lichide, care există sub formă de film sau particule pierdute. În ceea ce privește proprietățile sale chimice, poate fi într-o stare ionică sau covalentă, poate fi anorganică sau organică.

Suprafețele expuse la aer sunt cele mai susceptibile la contaminare. Există multe surse de poluare. Adsorbția, reacțiile chimice, procesele de leșiere și uscare, procesele mecanice și procesele de difuzie și segregare contribuie la creșterea contaminanților de suprafață în diferite componente.

Conform plantei de prelucrare a stratului de vid, poluanții obișnuiți de pe suprafața materialelor de vid sunt după cum urmează:

1. grăsimi: lubrifianți, lichide de tăiere, grăsimi de vid și altele contaminate în timpul procesării, asamblării și funcționării;

2, substanțe acide, alcaline, sare: substanțe reziduale în timpul curățării, transpirație manuală, minerale în apă etc .;

3. Oxizi de suprafață: oxizi de suprafață formați din materiale plasate în aer pentru o perioadă lungă de timp sau în aer umed;

4. Baza de apă: transpirația manuală în timpul funcționării, vaporii de apă în timpul suflării, salivă etc .;

5, lustruiți reziduurile, praful și alte materii organice în aerul înconjurător.

Scopul curățării acestor poluanți este de a îmbunătăți stabilitatea mașinii de acoperire cu vid, astfel încât lucrarea să poată fi mai bună. Conform cerințelor, suprafața curată poate fi împărțită în două tipuri: suprafața curată atomică și suprafața tehnologică curată.

În mașina de acoperire cu vid înainte de utilizarea materialelor de acoperire materiale de acoperire pentru a face o curățare simplă a suprafeței poate prelungi durata de viață a mașinii de acoperire. Diferiții poluanți nu numai că sistemul de vid nu poate obține gradul necesar de vid, ci afectează, de asemenea, performanța de etanșare și etanșare a racordurilor de vid. Activitatea de curățare timpurie în loc poate reduce o mulțime de necazuri, pentru a evita multe probleme mici, eficiența muncii, acoperire în vid de calitate masina de acoperire are un rol foarte pozitiv. Se poate îmbunătăți foarte mult stabilitatea de lucru a tuturor pereților și a altor suprafețe componente ale sistemului de vid în diferite condiții de lucru.

IKS PVD, dacă vă place, vă putem sugera o mașină de curățare potrivită pentru dvs., pentru a face tratamentul prealabil al acoperirii PVD, orice întrebare despre tehnologia de vid a pvd, contactați-ne acum, iks.pvd @ foxmail.com