Caracteristica ultra-mare de unitate de vid și clasificare

Unitățile de vid ultra-înalte care operează mai sus de 10-5pa includ pompa de difuzie, unitatea de vid ultra-ridicată a pompei moleculare și unitatea de vid ultra-înaltă fără ulei. Unitatea are următoarele caracteristici:

Gradul maxim de vid al pompei principale este mai mare de 10-7 ~ 10-8pa.

(2) poate suporta temperatura ridicată de 200 ~ 450 ℃ coacere;

Presiunea parțială a gazului de retur a pompei principale este scăzută.

Pentru pompa principală cu selectivitate ridicată, aceasta trebuie echipată cu o pompă auxiliară suficient de mare.

(1) unitate de vid ultra-înaltă a pompei de difuzie

Vacuumul final al unităților de vid ultra-înalte cu pompe de difuzie ca pompe principale este de 10-7 ~ 10-8pa.

Pentru a reduce influența difuziei inverse a gazului din faza frontală a pompei de difuzie și difuzia inversă a uleiului pompei mecanice la gradul final de vid, o pompă de difuzie cu o viteză de pompare mai mică poate fi utilizată în faza frontală a pompa de difuzie pentru a reduce raportul de compresie și difuzia inversă. Dacă este adăugată o capcană de sublimare a titanului la orificiul de intrare al pompei de difuzie, presiunea parțială a azotului din pompa de difuzie poate fi redusă și se poate obține un vid super-înalt de 10-11pa.

(2) unitate ultra-înaltă de vid a pompei moleculare

Vacuumul maxim al unităților ultra-înalte de vid, care utilizează în principal pompe moleculare, este de 10-8 Pa, care se caracterizează prin pornirea rapidă și poluarea scăzută a petrolului.

Viteza de pompare poate fi mărită prin adăugarea capcanei de răcire cu azot lichid în unitate. Ieșirea pompei mecanice este prevăzută cu o capcană pentru răcirea apei pentru a preveni intrarea vaporilor de ulei în sistem.

(3) unitate de vid ultra-înaltă fără ulei

Unitatea de vacuum care nu utilizează ulei pentru a face lichid de lucru și nu se sigilează cu material organic este denumită unitate de vid super-înaltă fără ulei. Pompele principale utilizate în mod obișnuit includ pompa criogenică, pompa de titan, pompa de ioni de pulverizare etc. În comparație cu unitatea de vid de ulei, aceasta are următoarele avantaje:

Curățați vidul și nu se poate obține o sursă de poluare.

Când pompa de vid fără ulei este pornită, pre-pompa poate fi izolată.

Dacă ventilația se oprește brusc, sistemul nu va fi poluat;

Nu are ulei, nici zgomot și nici vibrații, ceea ce îmbunătățește mediul de lucru.

Gradul de aspirație terminal este mare, viteza de pompare este ridicată și timpul de pompare este scurt.