Tip tipic de sistem de vid

Sistemul care îndeplinea anumite cerințe de proces, capabil să obțină și să măsoare vidul necesar specific, se numește sistem de vid. Un sistem de vacuum mai complet este format din camera de vid, pompa de vacuum necesară sau unitatea de vacuum, dispozitivul de măsurare a vidului, conducta de conectare, supapa de vid, capcana și alte componente de vid și sistemul de comandă electrică. Sistemul tipic de vid este prezentat în Fig.1 și Fig.2.

1. Robinet de evacuare a camerei de vid 2. Indicator de vid pentru ionizare 3. Manometru de vacuum pentru termocuplu 4. Robinet de reglare a debitului

5. Robinet de vid înaltă 6. Pompă de difuzie 7. Rezervor de stocare a gazului

8. Ecartament termocuplu (măsura presiunii în pompă de difuzie) 9. Supapă de siguranță 10. Senzor de presiune

11. Supapă de pre-pompare 12. Pompă de vid rădăcină 13. Vană de derivație 14. Supapă de scurgere electromagnetică

15. Pompă mecanică de vid

Fig.1 Schema schematică a unui sistem tipic de vid

1. Camera de vid 2. Măsurător de vid pentru ionizare 3. Manometru de vacuum pentru termocuplu 4. Supapă de deflație

5. Supapă de vid înaltă 6. Capcană de răcire 7. Pompă de difuzie 8. Supapă de reținere 9. Supapă de scurgere electromagnetică

10. Pompă mecanică de vid 11 Supapă de pre-pompare

Fig.2 Schema schematică a unui sistem tipic de vid