Sistemul de acționare și sistemul de răcire a echipamentelor de acoperire PVD
Mar 31, 2018| Sistemul de acționare
Sistemul de antrenare permite ca substratul să curgă de la punerea substratului în dispozitivul de depunere prin pulverizare, până la ieșirea din dispozitiv după finalizarea procesării. Sistemul de acționare este compus din motor de antrenare, roată de defilare, convertizor de frecvență și așa mai departe. Motivele pentru adăugarea sistemului de acționare sunt:
(1) Asigurați-vă că straturile de grosime uniformă sunt distribuite pe scară largă.
(2) Transmisie automată ușor de realizat.
Sistem de răcire
Sistemul de răcire este alcătuit, în principal, din pompa moleculară a apei circulante țintă, camera, grupul de pompe și răcirea motorului care circulă în apă. Funcția sa principală este răcirea camerei de vacuum, a pompei, a sistemului de acționare, a sursei de alimentare etc. Cerințele privind apa de răcire sunt:
(1) Temperatura: 17 ~ 22 ° C;
(2) Presiune: 2 ~ 3e0,05Pa;
(3) Particulele magnetice trebuie îndepărtate din apă și apa trebuie să fie înmuiată, pH = 6 ~ 8.