Cauza de neuniformitate a stratului de acoperire cu pulverizare Magnetron

Indiferent de tipul de mașină care costă vidul, uniformitatea straturilor de acoperire va fi afectată de un anumit factor.

Funcționarea mașinii de acoperire cu vid de pulverizare magnetron este de a face ca electronii să bombardeze ionii de argon formați de gazul de argon și apoi să bombardeze ținta de către câmpul magnetic ortogonală sub starea de vid și ionii țintă să fie depozitați pe suprafața piesei de prelucrat pentru a forma acoperire. Deci, putem considera că starea de vid, câmpul magnetic și argonul sunt trei aspecte legate de uniformitatea grosimii filmului.

Starea de vid este controlată de sistemul de pompare a aerului. Fiecare orificiu de pompare trebuie să fie acționat simultan cu o rezistență constantă, astfel încât uniformitatea pompării să poată fi asigurată. Dacă pomparea nu este uniformă, presiunea în camera de vid nu poate fi uniformă, deoarece presiunea are o anumită influență asupra mișcării ionilor. În plus, timpul de pompare trebuie controlat. Prea scurtă va provoca un vid insuficient, dar va fi o risipă de resurse dacă este prea lungă. Dar existența dispozitivelor de măsurare a vidului o face necesară.

Câmpul magnetic funcționează ortogonal, dar este imposibil ca intensitatea câmpului magnetic să fie 100% uniformă. În general, în cazul în care câmpul magnetic este puternic, grosimea filmului va fi mare și invers, astfel încât grosimea filmului va fi inconsistentă.

Uniformitatea alimentării cu gaz de argon afectează, de asemenea, uniformitatea stratului de film. Principiul este similar cu gradul de vid. Datorită introducerii gazului de argon, presiunea în camera de vid se va schimba în consecință. Uniformitatea grosimii filmului poate fi controlată de presiunea uniformă.

Cu toate că există întotdeauna mai mulți factori care cauzează inegalitatea filmului, dar viteza de trecere a filmului este foarte mare dacă se face operarea corectă a mașinii de acoperire cu vid.