Probleme si solutii de acoperire DLC

Proprietăţile de acoperire DLC

Performanţa de DLC este între diamant si grafit, care prezinta duritate mare şi de excelenta frecare, ca proprietăţi anti-adeziv bine la fel de bun.

◆ Proprietati mecanice:

Duritate mare, modulul de elasticitate ridicat, înaltă conductivitate termică, coeficient de dilatare termică scăzută, joasă densitate, rezistenta la uzura excelent şi coeficientul de frecare.

◆ Proprietăţi electrice:

Afinitate pentru electroni mică, rezistivitatea electrică ridicată, constantă dielectrică scăzută

◆ Proprietăţile optice:

Factor de transmisie mare în lumina vizibilă şi regiunile infrarosu apropiat, trupa optică scăzută diferenţa, indicele de refracţie este 1,7 la 2.4, pragul de daune laser de înaltă.

◆ Proprietăţi chimice: 

Buna biocompatibilitate, inerţia chimice ultra-înaltă, rezistenţă acid şi alcaline, bun hidrofob.

Probleme si solutii de acoperire DLC

Probleme

◆ Ridicate interne de stres

În condiţii normale, stresul interne, modulul elastic şi duritatea de acoperire sunt direct proporţionale cu reciproc, astfel încât cea mai mare duritate de acoperire, mai mare stres interne. DLC filmul are duritate foarte mare, precum şi mare stres intern, ceea ce face aderenţă DLC filmul la substrat reduce, şi, de asemenea, ea limitează grosimea maximă a unui film stabilă, care poate fi depus pe substrat. În plus, uniformitatea grosime film, de asemenea, are un efect asupra stresul interne.

◆ Săraci stabilitate termică

DLC este de obicei o structură metastabile faza non-cristalin. Prin urmare, în timpul de creştere de temperatură, DLC de acoperire va fi grafitate, adică legătura sp3 la rândul său, obligaţiuni sp2, ca urmare, structura şi performanţă DLC de acoperire va fi schimbat.

Solutii

◆ Filmul multistrat

Depunerea filmelor multistrat Ti/TiC/DLC şi Ti/cutie/TiCN/DLC pe substrat pot reduce considerabil stresul interne între DLC strat şi substrat.

◆ Gradient film

Depozit degrade tranzitorii straturi Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC şi Ti/cutie/TiCN/TiC/Ti-DLC de tehnologie ion sursă şi pulverizare a depunerilor pe substrat pot efectiv elibera de stres şi de a îmbunătăţi eficient puterea de legătură între stratul şi substrat.

◆ Dopaj

Dopajul de non-metal (N, B, Si) pot reduce stresul interne DLC de acoperire şi de a îmbunătăţi stabilitatea termică. Dopaj din metal (Cr, Ti, W) poate îmbunătăţi duritatea şi rezistenta la DLC strat uzura, şi reduce coeficientul său de frecare.