Probleme comune ale echipamentelor PECVD-Presiunea camerei de reacție este instabilă

Probleme comune ale echipamentelor PECVD-Presiunea camerei de reacție este instabilă

(1) Verificați dacă burduful sistemului de vid al echipamentului prezintă crăpături.

(2) Verificați dacă debitmetrul de gaz este normal.

(3) Verificați manual dacă comutatorul supapei fluture este normal.

(4) Pompa de vid este anormală, iar vacuometrul este utilizat pentru a măsura dacă viteza de pompare a pompei de vid este normală.

Compania IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com