Probleme comune ale echipamentului PECVD - strălucirea este instabilă

Probleme comune ale echipamentului PECVD - strălucirea este instabilă

Curentul sursei de alimentare este instabil, măsurați dacă sursa de alimentare este stabilă. (2) Presiunea camerei de vid este instabilă, verificați dacă rata de scurgere a sistemului de vid din cameră este normală, verificați dacă admisia de aer în cameră este normală. (3) Dacă cablul este defect, verificați dacă contactul cablului este bun.

Compania IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com