Sursă de alimentare cu magnetron pulverizat

Aug 01, 2024|

Sursă de alimentare pentru pulverizare cu magnetron

Din punct de vedere al formei de undă de ieșire, odată cu dezvoltarea tehnologiei de pulverizare cu magnetron în sine, a experimentat mai multe moduri de DC, impuls unipolar, impuls bipolar simetric (sursă de alimentare pulverizată cu magnetron de frecvență medie) și puls bipolar (putere asimetrică de pulverizare a magnetronului de frecvență medie). livra). În prezent, noua sursă de alimentare cu magnetron pentru pulverizare este realizată din tehnologie de alimentare cu comutare cu invertor de înaltă frecvență, iar sursa de alimentare cu magnetron pentru pulverizare cu frecvență medie a devenit sursa de alimentare preferată pentru noile echipamente de pulverizare cu magnetron. Pentru a controla cu precizie grosimea stratului de film, sursa de alimentare cu magnetron pulverizat trebuie să funcționeze stabil și să aibă caracteristici constante bune. În prezent, principala utilizare a modului de curent constant, există, de asemenea, modul de putere constantă, dar rareori se utilizează modul de tensiune constantă. În plus, un avantaj semnificativ al tehnologiei de acoperire prin pulverizare cu magnetron este că stratul de film este dens și finisajul este bun. Pentru a obține acest avantaj, este necesar să se limiteze strict numărul de timpi de incitare și energia fiecărei incitari pe suprafața țintă în timpul procesului de pulverizare cu magnetron și să se minimizeze numărul de particule macroscopice țintă cauzate de momentul de incitare, ceea ce va reduce densitatea și finisajul stratului de film și provoacă serios căderea filmului

Companie IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire cu unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com

O pereche de: Prezentare de părtinire
Următoarea: Sursă de alimentare bias
Trimite anchetă