Influența parametrilor procesului de pulverizare cu magnetron: curent țintă
Sep 06, 2024| Influența parametrilor procesului de pulverizare cu magnetron: curent țintă
Prin schimbarea curentului țintă, conținutul relativ al fiecărui element din acoperirea cuaternară (Cr,Ti,Al)N poate fi controlat, iar energia particulelor pulverizate care bombardează ținta poate fi modificată, afectând astfel microstructura și proprietățile acoperirii. Studiile au arătat că duritatea acoperirii crește odată cu creșterea curentului țintă Ti [63-64]. Pe de o parte, odată cu creșterea curentului țintă Ti, conținutul de Ti din acoperire crește și apare faza dura TiN, crescând astfel duritatea acoperirii. Pe de altă parte, odată cu creșterea curentului țintă de Ti, atomii de Ti se dizolvă în CrN pentru a forma o soluție solidă de Cr-Ti-N, ceea ce sporește efectul de întărire a soluției solide și, prin urmare, crește duritatea acoperirii [63]. În plus, odată cu creșterea curentului țintă de Ti, efectul de bombardament al ionilor de Ar asupra acoperirii este îmbunătățit, iar densitatea acoperirii este îmbunătățită, crescând astfel duritatea acoperirii [64]. Prin urmare, creșterea durității acoperirii este rezultatul acțiunii comune a densificării fazei și structurii.
Companie IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire cu unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com