Cât de mult știi despre procesul PVD?
Apr 12, 2019| Cât de mult știți despre procesul PVD?
Dezvoltarea tehnologiei de acoperire în vid
I. Tehnologia de acoperire cu vid nu a fost dezvoltată mult timp. Tehnologia CVD (depunere chimică prin vapori) a fost aplicată la uneltele de debitat cu carbură în anii 1960. Deoarece această tehnologie trebuie efectuată la temperaturi ridicate (temperatura procesului este mai mare de 1000 C), tipul de acoperire este unic și limitările sunt mari, astfel încât dezvoltarea sa inițială nu este satisfăcătoare.
II. Până la sfârșitul anilor 1970, a apărut tehnologia PVD (depunere fizică prin vapori). După aceea, tehnologia de acoperire PVD sa dezvoltat rapid într-o perioadă scurtă de 20 sau 30 de ani. Motivul este că pelicula de acoperire PVD este formată în cavitatea sigilată în vid, care nu are aproape nici o problemă de poluare a mediului și conduce la protecția mediului. Deoarece se poate obține o suprafață strălucitoare, de pe malul mării, culoarea matură are 7 culori, argent, culoare transparentă, galben auriu, negru și galben auriu ajung la orice culoare între negru, se poate spune că este multicolor, tot felul de nevoi; Și din cauza tehnologiei PVD, pot obține cu ușurință alte metode dificil de a obține duritate mare, rezistență mare la uzură de acoperire ceramică, acoperire compozit, aplicate în scule, mucegai, poate face viața dublată, mai bine pentru a obține efectul de cost redus, randament ridicat; În plus, tehnologia de acoperire PVD are caracteristicile temperaturii scăzute și a energiei ridicate și poate fi utilizată pentru a forma un film pe aproape orice substrat. Prin urmare, nu este surprinzător faptul că tehnologia de acoperire PVD se dezvoltă rapid datorită gamei largi de aplicații. Odată cu dezvoltarea tehnologiei de acoperire în vid, au apărut astăzi și PCVD (depunerea chimică a vaporilor chimici), mt-cvd (depunerea chimică a vaporilor la temperatură medie) și alte tehnologii noi. Diferite echipamente de acoperire și diverse procese de acoperire sunt în curs de dezvoltare într-un flux nesfârșit.
III. În același timp, ar trebui să fim conștienți de faptul că dezvoltarea tehnologiei de acoperire cu vid este grav dezechilibrată. Datorită mediului de lucru extrem de dur al sculelor și al matrițelor, cerințele pentru aderența peliculelor sunt mult mai mari decât cele ale acoperirii decorative. Prin urmare, deși producătorii decorativi de acoperire au fost în jur, dar producția de producători de acoperire mucegai nu sunt multe. Instrumentul Plus, acoperirea cu mucegai lipsa de servicii post-vânzare, până în prezent, cei mai mulți producători de echipamente de acoperire pe piața internă pot furniza tehnologia completă de tăiere a uneltelor de tăiere (inclusiv procesul de pretratare, procesul de acoperire, tehnologia de post-procesare a straturilor, tehnologia de detectare, și, de asemenea, necesită personal tehnologie, în plus față de maestru de cunoștințe profesionale de acoperire, de asemenea, ar trebui să aibă cunoștințe solide de materiale de metal și de tratament termic, pre-tratarea suprafeței de acoperire a mucegaiului înainte de selectarea cunoștințelor adecvate, instrument de tăiere, acoperire mucegai, precum și cerințele tehnice pentru utilizarea calculatorului, în cazul în care vreun link pare să fie problema, va da utilizatorilor concluzia că efectul de utilizare nu este ideal. Toate acestea restricționează în mod serios aplicarea acestei tehnologii în uneltele și matrițele de tăiere.
IV. pe de altă parte, deoarece tehnologia este o știință între materiale, fizică, electronică, chimie și alte discipline ale disciplinei de margine emergentă și aplicată la instrumentul de tăiere, producția internă în domeniul unuia dintre puțini producători de frunte, este o introducere a echipamentelor avansate și a tehnologiei din străinătate, rămâne să fie un proces de digestie, absorbție, prin urmare, în prezent, în domeniul forței tehnice interne nu este proporțională cu dezvoltarea sa, are nevoie urgentă de a prinde din urmă.
V. PVD (depunere fizică prin vapori) este compusă din depunerea prin evaporare în vid, depunere prin pulverizare sub vid și depunere în vid. De obicei, spunem că acoperirea cu PVD se referă la acoperirea cu ioni de vid; Acoperirea NCVM este denumită în mod obișnuit acoperirea prin evaporare în vid și acoperirea prin pulverizare sub vid.
VI. Principiul de bază al evaporării în vid: în condiții de vid, metalul, aliajul metalic și așa mai departe sunt evaporate și apoi depuse pe suprafața substratului. Metoda de evaporare este utilizată în mod obișnuit pentru încălzirea rezistenței și bombardarea materialului de placare cu fasciculul de electroni pentru a se evapora în faza gazoasă și apoi se depozitează pe suprafața substratului. În istorie, evaporarea în vid este cea mai veche tehnologie utilizată în metoda PVD.
VII. Principiul de bază al acoperirii prin pulverizare: în condiții de vid umplute cu argon (Ar) gaz, argonul este descărcarea de glow. În acest moment, atomii de argon (Ar) ionizează în ion de argon (Ar). Sub acțiunea forței de câmp electric, ionul de argon accelerează bombardarea materialului țintă catodic din materialul de placare și materialul țintă va fi depus pe suprafața piesei de prelucrat prin pulverizare. Ionii incidente în pelicula de pulverizare sunt obținuți în general prin descărcare prin strălucire în intervalul 10-2 Pa ~ 10Pa. De aceea, atunci când particulele de pulverizare zboară către substrat, ele sunt ușor de coliziune cu moleculele de gaze din camera de vid, făcând direcția de mișcare aleatoare și filmul depus ușor de uniformizat.
VIII. Principiu de bază al placării cu ioni: în condiții de vid, se adoptă o tehnologie de ionizare în plasmă pentru a ioniza parțial atomii materialului de placare în ioni. În același timp, sunt produși mulți atomi neutri de înaltă energie, iar pe substrat se adaugă părtinire negativă. În acest fel, sub acțiunea unei prejudecăți negative profunde, ionii sunt depuși pe suprafața matricei pentru a forma un film subțire.
IX. Procesul de placare cu ioni: particulele de vaporizator, ca ioni de mare putere cu încărcare pozitivă, sunt atrase de catodul de înaltă presiune (adică piesa de prelucrat) și injectate pe suprafața piesei de prelucrat la o viteză mare.
X. Procesul de placare ionică este după cum urmează:
Sursa de evaporare este conectată la anod și piesa de prelucrat este conectată la catod. Se realizează o evacuare strălucitoare între sursa de evaporare și piesa de prelucrat după aplicarea unui curent direct de înaltă tensiune de trei până la cinci mii de volți. Deoarece gazul inert de argon este umplut în capacul de vid, o parte a gazului de argon este ionizată sub acțiunea câmpului electric de descărcare, formând astfel o zonă întunecată în plasmă în jurul piesei de lucru a catodului. Ionii de argon cu încărcătură pozitivă, atrasi de presiunea negativă ridicată a catodului, au bombardat violent suprafața piesei de prelucrat, determinând împrăștierea particulelor de suprafață și a murdăriei piesei de prelucrat, astfel încât suprafața piesei de prelucrat care urmează a fi acoperită bine curățate prin bombardament ionic. Apoi, evaporatorul este conectat la sursa de alimentare cu ca, iar particulele evaporatorului se topesc și se evaporă, intră în zona de descărcare a strălucirii și sunt ionizate. Vasele de vaporizator încărcate pozitiv, atrase de catod, s-au grabit la piesa de prelucrat împreună cu ionii de argon. Când numărul de ioni de vaporizator de pe suprafața piesei de prelucrat a depășit numărul de ioni stropiți, ei s-au strâns treptat pentru a forma o acoperire care a aderat ferm la suprafața piesei de prelucrat. Acesta este procesul simplu de placare ionică.
Compararea celor trei metode de acoperire:
Tehnologia PVD are patru etape tehnologice
(1) curățarea piesei de prelucrat: activați alimentarea cu curent continuu, argonul conduce descărcarea strălucitoare ca ion de argon, ionul de argon bombardează suprafața piesei de prelucrat, iar particulele de suprafață și murdăria piesei de prelucrat sunt stropite;
(2) gazificarea materialului de placare: după conectarea curentului alternativ, materialul de placare este vaporizat și gazificat.
(3) migrarea ionilor de placare: atomii, moleculele sau ionii furnizați de sursa de gazeificare se vor grăbi la piesa de prelucrat la viteză mare după coliziune și câmp electric de înaltă tensiune;
(4) depunerea atomilor, moleculelor sau ionilor materialului de placare pe substrat: atunci când cantitatea de ioni de material evaporat de pe suprafața piesei de prelucrat depășește cantitatea de ioni de stropire, se acumulează treptat pentru a forma un strat acoperit ferm pe suprafață a piesei de prelucrat.
După ionizarea particulelor de placare ionică, materialul de evaporare are trei mii la energia cinetică de cinci mii de volți electroni, artefacte de bombardament de mare viteză, nu numai viteza de depozitare este rapidă și poate penetra suprafața, formând un strat adânc în matrice , adâncimea de difuzie a interfeței de placare cu ioni ar fi de patru până la cinci microni, adică adâncimea de difuzie a stratului obișnuit de acoperire în vid, adică de zeci de ori, chiar de o sută de ori, și s-au aderat atât de repede.
XI. Conceptul de bază și caracteristicile acoperirii PVD
PVD este o abreviere pentru "Depunerea fizică prin vapori". Acum, în general, evaporarea în vid, acoperirea prin pulverizare, placarea cu ioni și așa mai departe se numesc depuneri fizice de vapori.
Metodele PVD mai mature includ, în principal, placarea în mai multe arcuri și placarea prin pulverizare cu magnetron. Echipamentul de placare cu arc este simplu și ușor de utilizat. Ionul său evaporă sursa pentru a putea funcționa cu sursa de alimentare cu energie electrică a mașinii de sudură, procesul său de arc de pornire este, de asemenea, similar cu sudarea electrică, în special sub anumite presiuni ale ambarcațiunii, pornind acul arcului și evaporând contactul scurt al sursei de ioni , deconectează, cauzează descărcarea gazului. Datorită cauzei de acoperire a arcului este în principal prin intermediul locului de arc deplasare, sursa de evaporare pentru formarea bazinului topit la suprafață, face ca metalul să fie evaporat, stratul de film este depus pe substrat, în comparație cu pulverizarea magnetron, nu are doar rata de utilizare țintă material este mare, rata de ionizare ridicată, ioni de metal mai multe avantajele aderenței puternice. În plus, culoarea stratului de acoperire multi-arc este relativ stabilă, mai ales atunci când se realizează acoperirea cu TiN, aceeași culoare aurie stabilă poate fi obținută cu ușurință în fiecare lot, ceea ce face ca metoda de pulverizare a magnetronului să nu fie comparabilă. Dezavantajul placării cu mai multe arcuri este acela că, atunci când grosimea stratului de acoperire atinge 0,3 m, viteza de depunere și reflexia sunt apropiate una de cealaltă, în condițiile unei acoperiri cu temperatură scăzută, cu alimentare tradițională de curent continuu, iar formarea filmului devine foarte dificilă. Mai mult, suprafața filmului începe să se estompeze. Un alt dezavantaj al placării cu mai multe arcuri este faptul că, deoarece metalul este evaporat după topire, particulele depuse sunt mai mari, ducând la o densitate mai scăzută, iar rezistența la uzură este mai rea decât cea a formării peliculei de pulverizare magnetron.
Se poate observa că atât acoperirea cu mai multe arce, cât și acoperirea cu pulverizare cu magnetron au avantaje și dezavantaje. Pentru a juca pe deplin avantajele respective și pentru a realiza complementaritatea, a apărut o mașină de acoperire care integrează tehnologia cu mai multe arc și tehnologia magnetron. În acest proces, este prezentată o nouă metodă de placare multi-arc, care utilizează pulverizarea magnetron pentru a îngroșa învelișul și, în final, folosește o placare multi-arc pentru a obține culoarea finală de acoperire a suprafeței.
În jurul valorii de la sfârșitul anilor 1980, apariția de electrozi catod cu ardere electronică de evaporare ion, placare catod arc magnetron masina de acoperire cu plasmă, efectul de aplicare este foarte bun, astfel încât instrumentul de acoperire TiN obține rapid aplicarea universală. Printre acestea, placarea cu ioni de electroni cu evaporare prin evaporare cu catod fierbinte, folosindu-se topirea cu incalzire cu turbina de cupru este materialul aurit, folosind filamentul tantal pentru a incalzi piesa de prelucrat, degazand, folosindu-se pistolul de electroni pentru a creste rata de ionizare, nu numai ca poate obtine grosimea de 3 ~ Acoperirea cu Ti 5 m, dar și aderența, rezistența la uzură sunt bune, chiar și prin metoda de măcinare este dificil de îndepărtat. Dar aceste dispozitive sunt potrivite numai pentru acoperirea cu TiN sau pentru filmul metalic pur. Pentru acoperirea cu acoperire multiplă sau compozită, este dificil să se adapteze la cerințele de duritate ridicată materialele de tăiere rapidă și cerințele privind diversitatea aplicațiilor de turnare.
CemeCon în prezent, unele țări dezvoltate (cum ar fi Germania, Marea Britanie ART - TEER, Swiss Platit) pe baza principiului tradițional de pulverizare magnetron, câmp magnetic dezechilibrat în loc de echilibrul original al câmpului magnetic, 50 KHZ pentru a înlocui sursa de alimentare originală DC, sursa de alimentare cu impulsuri în loc de părtinire DC, tehnologia anodică auxiliară etc, face ca tehnologia de sputtering magnetron să fie treptat matură, are cantități mari de utilizări pe acoperirea mucegaiului, acum este stabilă în principal producția de TiAlN, AlTiN , TiB2, DLC, CrN, China guangdong, jiangsu, guizhou, zhuzhou și alte locuri au introdus, de asemenea, acest tip de echipament, are potențialul de a prinde foc.
XII. PVD diagramă grafică
PVD caracteristică de prelucrare
1) Filmul PVD poate fi placat direct pe oțel inoxidabil și aliaj dur. Aliajul zincului relativ moale, cuprul, fierul și alte piese turnate trebuie să fie electropolate mai întâi cu crom și apoi adecvate pentru placarea PVD.
2). Tipic PVD de acoperire temperatura de prelucrare între 250 ℃ - 450 ℃;
3) tipul de acoperire și grosimea determină timpul de proces, timpul general de proces este de 3 ~ 6 ore;
4) grosimea stratului de acoperire PVD de nivel micron, cu o grosime subțire, în medie de 0,3 mu m ~ 5 microni, grosimea stratului membrană de acoperire decorativă este de obicei 0,3 mu m ~ 1 um, deci poate fi aproape nu afectează dimensiunea originală a piesei de prelucrat ridică tot felul de proprietăți fizice și proprietăți chimice pe suprafața piesei de prelucrat și poate menține mărimea piesei de prelucrat, nu trebuie să mai fie necesară după prelucrarea placării;
5). Tehnologia PVD nu numai că îmbunătățește rezistența de lipire între filmul de acoperire și materialul substratului, dar dezvoltă, de asemenea, compoziția de acoperire din prima generație de TiN la stratul compozit TiC, TiCN, ZrN, CrN, MoS2, TiAlN, TiAlCN , tin-aln, CNx, DLC și ta-c, care formează efectul de suprafață al diferitelor culori.
6) culorile disponibile ale filmului sunt auriu închis, aur deschis, maro, bronz, gri, negru, gri-negru, șapte culori etc. Culoarea poate fi controlată prin controlul parametrilor în procesul de placare. La sfârșitul stratului de acoperire se poate utiliza pentru a măsura valoarea de culoare a instrumentelor relevante, astfel încât culoarea să poată fi cuantificată, pentru a determina dacă placarea culorilor îndeplinește cerințele.
Aplicarea tehnologiei de acoperire PVD este în principal împărțită în două categorii: placarea decorativă și placarea sculelor:
Scopul placajului decorativ: în principal, pentru a îmbunătăți aspectul proprietăților decorative și a culorii piesei de prelucrat, în același timp, piesa de prelucrat face mai mult uzură și rezistență la coroziune pentru a-și extinde durata de viață; Acest aspect se aplică în principal profesia de hardware fiecare domeniu, în cazul în care hardware-ul ușii de fereastră, de blocare, hardware de baie și așa mai departe industrie.
Scopul plăcii de scule: în principal pentru a îmbunătăți duritatea suprafeței și rezistența la uzură a piesei de prelucrat, reduce coeficientul de frecare al suprafeței, îmbunătățește durata de viață a piesei de prelucrat; Acest aspect este utilizat în principal în diverse instrumente de tăiere, unelte de strunjire (cum ar fi unelte de strunjire, cuțite de frezat, freze, burghie etc.) și alte produse.
Deși utilizarea tehnologiei PVD de acoperire poate fi placată din peliculă de înaltă calitate, dar costul procesului de acoperire cu PVD nu este de fapt ridicat, este un tratament de suprafață foarte eficient, astfel încât în ultimii ani tehnologia de acoperire PVD se dezvoltă foarte rapid . Acoperirea PVD a devenit direcția de dezvoltare a tratamentului de suprafață în industria hardware.
XIII. PVD Advantage
1. Aderența bună la acoperire
Învelișul obișnuit de vid, suprafața piesei de prelucrat și acoperirea aproape fără legătură între stratul de tranziție, ca distinct. Acoperirea cu ioni, arbori de viteză cu bombardament ionic, capabili să penetreze suprafața, formând un strat adânc în matrice, adâncimea de difuzie a interfeței de placare ionică ar fi de patru până la cinci microni, după ce placarea cu ioni a specimenului pentru testul de tracțiune a arătat că toate mod de a merge la fractură, placare cu matrice alungire plastic de metal, fără peeling sau descompunere, vizibilă cât de puternică de aderență, stratul de membrană uniformă, dens.
2. Capacitate bună de împachetare și placare
În cazul placării cu ioni, particulele de vaporizator se deplasează de-a lungul direcției liniei electrice în câmpul electric sub formă de ioni încărcați. Prin urmare, oriunde există un câmp electric, se poate obține o acoperire bună, care este mult superioară acoperirii obișnuite în vid, care poate fi obținută numai în direcția directă. Prin urmare, această metodă este foarte potrivită pentru placarea pieselor pe gaura interioară, canelură și slot îngust. Alte metode dificil de a placa piesele. În cazul în care stratul obișnuit de vid poate fi placat direct pe suprafață, particulele de evaporare, cum ar fi scara de alpinism, pot urma doar scara; Placarea cu ioni, pe de altă parte, poate fi înfășurată uniform pe spatele părții și în gaura interioară. Ionii încărcați, pe de altă parte, pot fi transportați în orice loc din raza căii de zbor specificate, la fel ca într-un elicopter.
3. Acoperirea este de calitate bună
Acoperirea are o structură compactă, fără orificiu, fără bule și grosime uniformă. Chiar și marginile și canelurile pot fi placate uniform fără a forma noduli metalici. Componente precum filetul pot fi de asemenea placate, cu duritate ridicată, rezistență ridicată la uzură (coeficient de frecare redus), rezistență la coroziune bună și stabilitate chimică, durată mai lungă a filmului; În același timp, filmul poate îmbunătăți în mare măsură aspectul performanței decorative a piesei de prelucrat
4. Simplificarea procesului de curățare
Procesul de acoperire existent, cele mai multe dintre cerințele înainte de piesa de lucru pentru curățarea strictă, atât complexe, cât și probleme. Totuși, procesul de placare ionică are un efect de curățare cu bombardament ionic și acest efect a fost continuat pe tot parcursul procesului de acoperire. Efectul de curățare excelent, poate face acoperirea direct în apropierea substratului, îmbunătățește în mod eficient aderența, simplifică o mulțime de curățare înainte de placare.
5. O gamă largă de materiale de placare
Placarea cu ioni este folosirea ionilor de mare energie care bombardează suprafața piesei de prelucrat, astfel încât o cantitate mare de energie electrică pe suprafața piesei de prelucrat se face în energie termică, promovând astfel difuzia țesutului de suprafață și reacția chimică. Cu toate acestea, întreaga piesă de prelucrat, în special miezul piesei de prelucrat, nu a fost afectată de temperatura ridicată. Prin urmare, acest tip de proces de acoperire are o gamă largă de aplicații, iar limitările sunt mici. În general, pot fi placate toate tipurile de metale, aliaje și anumite materiale sintetice, materiale izolante, materiale termice și materiale cu punct de topire ridicat. Poate fi placată pe piesa metalică nemetalică sau metalică, poate fi placată și pe plăci ne-metalice sau nemetalice și poate fi chiar placată pe plastic, cauciuc, cuarț, ceramică și așa mai departe.
Domeniul de aplicare, avantajele și dezavantajele tehnologiei PVD cu două culori .
Scopul său de aplicare este:
1) oțel carbon, oțel aliat, oțel inoxidabil, aliaj de titan și alte materiale metalice;
2) duritatea suprafeței materialului metalic ar trebui să fie de cel puțin HV170.
Avantajele sale sunt:
În comparație cu tehnologia PVD monocromatică cu pulverizare tradițională de magnetron, tehnologia PVD cu două culori este mai complexă, mai complexă și mai dificil de produs, dar are un efect de aspect excelent. Duritatea suprafeței ambelor culori este peste HV600.
Tehnologia PVD monocromă tradițională cu magnetron pulverizator este de a realiza efectul cu două culori. Măsurile tehnologice luate sunt de a scoate sau șterge laserul din regiune care trebuie să obțină o altă culoare pe baza întregului PVD monocrom. Zona în care se produce un nou tratament poate arăta calitatea instinctivă a metalului, duritatea suprafeței, și anume duritatea suprafeței metalului în sine -
Duritatea suprafeței după PVD este peste HV600).
Dezavantajele sale sunt:
1) procesul este mai complex decât PVD monocrom tradițional, iar procesul este mai complex și mai greu de realizat;
2) randamentul de producție este scăzut, de aproximativ 65 ~ 70% (randamentul PVD monocrom tradițional este, în general, 85-90%;
3) prețul va fi cu 50 ~ 60% mai mare decât PVD monocrom tradițional;
4) datorită influenței tehnologiei și procesului, producția de PVD cu două culori are mai multe restricții și este puternic afectată de structura produsului, în timp ce PVD monocrom tradițional este aproape nelimitat
Echipamentele moderne de acoperire sunt obtinute in principal prin camera de vacuum, piesa de vid, piesa de masurare a vidului, alimentarea cu energie electrica, introducerea gazului de proces sistem, piese de transmisie mecanică, unitate de încălzire și măsurare a temperaturii, evaporare ionică sau sursă de pulverizare, sistem de apă și alte părți.
1 camera de vid
Echipamente de acoperire are în principal linia de producție de acoperire continuă și mașină de acoperire cameră unică două forme, deoarece încălzirea mucegai de încălzire și partea de transmisie mecanică are cerințe mai mari, și forma mucegai, mărime variază, linia de producție continuă de acoperire este de obicei dificil de îndeplinit cerințele, o mașină de acoperire cu un singur spațiu.
2 Partea câștigului de vid
Recepția prin aspirație este o parte importantă a tehnologiei de vid. Datorită cerințelor de înaltă aderență a stratului de acoperire pe piesa de lucru, gradul de vid în fund trebuie să fie mai bun de 6mPa înainte de începerea procesului de acoperire și chiar până la 0,06mPa după finalizarea procesului de acoperire. Prin urmare, este foarte important să selectați în mod rezonabil echipamentul de achiziție a vidului pentru a obține un grad ridicat de vid. De acum, nu există nici o pompă care să poată funcționa de la presiunea atmosferică până la aproape un vid ultra-înalt. Prin urmare, achiziția de vid nu este un echipament de vid și metodele pot atinge, trebuie să fie utilizate în combinație cu mai multe pompe, cum ar fi pompa mecanică, sistemul de pompe moleculare.
3 Partea de măsurare a vidului
Partea de măsurare în vid a sistemului de vid este de a măsura presiunea din camera de vid. La fel ca și pompa de vid, niciun ecartament de vid nu poate măsura întregul interval de vid, multe tipuri de manometre au fost realizate în conformitate cu principii și cerințe diferite.
4 Alimentare
Energia electrică țintă include în principal alimentarea cu curent continuu (cum ar fi MDX) și sursa de alimentare cu frecvență intermediară (cum ar fi PE, PEII și PINACAL produse de compania AE în Statele Unite). În mod obișnuit, piesa de prelucrat este alimentată cu o sursă de alimentare cu curent continuu (cum ar fi MDX), o sursă de impuls (cum ar fi PINACAL + produs de AE) sau o sursă de alimentare RF (RF).
5 Sistemul de intrare a gazului de proces
Gazele de procesare, cum ar fi argon (Ar), krypton (Kr), azot (N2), acetilen (C2H2), metan (CH4), hidrogen (H2), oxigen (O2) supapa de reducere a gazului, supapa globului de gaz, conducta, debitmetrul de gaz, supapa solenoidală, supapa piezoelectrică și apoi în camera de vid. Avantajul acestui sistem de alimentare cu gaz este că conducta este o întreținere simplă, luminată, ușoară sau înlocuită a cilindrilor. Fiecare mașină de acoperire nu se afectează reciproc. Există, de asemenea, cazuri în care mașinile de acoperire multiple partajează un set de cilindri, care poate fi văzut în unele dintre magazinele mari de acoperire. Avantajul său este de a reduce cilindrul cu gaz pentru a ocupa dozajul, programul unificat, aspectul unificat. Dezavantajul este că numărul de conexiuni crește șansele de scurgere. Mai mult decât atât, mașina de acoperire va interfera una cu cealaltă, o scurgere a conductei de acoperire a mașinii, poate afecta calitatea altor produse ale mașinii de acoperire. În plus, la înlocuirea buteliilor, este necesar să se asigure că toate gazdele se află într-o stare fără gaz.
6 Unitate mecanică
Acoperirea cu unelte necesită o grosime uniformă în jurul marginii, astfel încât trebuie să existe trei rotații în procesul de acoperire pentru a îndeplini cerințele. Adică, în timp ce masa mare a piesei de prelucrat este necesară pentru a se roti (I), masa mică de prelucrat se rotește (II), iar piesa de lucru se poate roti simultan (III).
În planul mecanic, de obicei în centrul piesei mari a piesei de lucru a piesei de joc, pentru un mecanism de acționare mare, înconjurat de niște roți dințate mici, care se află în contact cu aceasta, apoi se utilizează o furcă pentru a forma rotirea piesei de prelucrat. Desigur, atunci când se realizează acoperirea mucegaiului, de obicei este suficient să se efectueze două rotații, însă capacitatea de susținere a angrenajului trebuie să fie mult îmbunătățită.
7 Partea de încălzire și de măsurare a temperaturii
Atunci când se acoperă modelul de lucru, modul de asigurare a încălzirii uniforme a piesei de lucru placate este mult mai important decât încălzirea prin decorare. Echipamentele de acoperire sunt în general înaintea și după cele două încălzitoare, măsurarea și controlul temperaturii termocuplu. Cu toate acestea, deoarece clemele termocuplului sunt diferite, citirea temperaturii nu poate fi temperatura reală a piesei de prelucrat. Există multe modalități de a măsura temperatura reală a unei piese de prelucrat. Aici este o metodă simplă a termometrului de suprafață. Termometrul funcționează prin extinderea arcului la partea inferioară atunci când termometrul este încălzit, determinând acul să împingă acul de poziționare să se rotească până când atinge temperatura maximă. Când temperatura scade, arcul se contractă și pointerul se rotește în direcția opusă, dar indicatorul de poziționare rămâne la cea mai înaltă temperatură. După deschiderea ușii, citiți temperatura indicată de indicatorul de poziționare, adică cea mai mare valoare a temperaturii atinsă de termometrul de suprafață atunci când este încălzită în camera de vid.
8 Izolarea ionilor și sursele de pulverizare
Sursa de evaporare a placării multi-arc este, în general, forma de tort rotund, cunoscută în mod obișnuit ca țintă de tort rotund. În ultimii ani, a apărut și țintă rectangulară cu mai multe arcuri, dar nu a fost observat niciun efect evident. Ținta rotundă a tortului este montată pe scaunul de țintă din cupru (scaunul catodic), iar cele două sunt legate prin crestături. Există un magnet în scaunul țintă. Prin deplasarea magnetului înainte și înapoi, intensitatea câmpului magnetic poate fi schimbată, iar viteza de deplasare și traseul punctului arc pot fi ajustate. Pentru a reduce temperatura țintă și scaunul țintă, scaunul țintă trebuie alimentat în mod continuu cu apă de răcire. Pentru a asigura o conductivitate ridicată și o conductivitate termică între țintă și scaunul țintă, garnitura Sn poate fi adăugată între ținta și scaunul țintă. Învelișul de pulverizare Magnetron, în general, utilizează ținte dreptunghiulare sau cilindrice,
9 sistem de răcire cu apă
Deoarece, pentru a îmbunătăți rata de ionizare a atomilor de metal, fiecare țintă de catod este proiectată să utilizeze cât mai mult posibil o putere mare, ceea ce necesită o răcire suficientă. Mai mult decât atât, multe tipuri de acoperire în acoperirea matriței, temperatura de încălzire este de 400 ~ 500 ° C, prin urmare, pe peretele camerei de vid, răcirea fiecărei suprafețe de etanșare este de asemenea foarte importantă, astfel încât apa de răcire ar fi avut o utilizare mai bună de circa 18 ... 20 ° C răcirea apei răcitoare. Pentru a preveni precipitarea picăturilor de apă din peretele camerei de vid cu temperatură joasă și ținta catodului în contact cu aerul fierbinte după deschiderea ușii, aproximativ 10 minute înainte de a deschide ușa, sistemul de răcire cu apă ar trebui să poată trece la starea de încălzire a apei și temperatura apei calde este de aproximativ 40 ~ 45C.
XIV. Etapele de lucru ale PVD-ului pentru mucegai și matriță
Procesul de bază al procesului PVD poate fi rezumat după cum urmează: Pre-tratarea IQC PVD FQC.
1 IQC
Principala activitate a IQC (InQuality Control) nu este numai de a verifica cantitatea în mod obișnuit și de a verifica dacă desenul este în concordanță cu obiectul real, dar și de a verifica cu atenție suprafața piesei de prelucrat, în special dacă există fisuri și alte defecte la muchia de tăiere . Uneori, pentru unele instrumente de tăiere, lama, în corpul observării microscopului, este mai convenabil să găsești probleme; În plus, personalul IQC ar trebui să acorde atenție și pentru a verifica dacă piesele de acoperire au plastic, lipire cu punctul de topire scăzut etc., dacă aceste lucruri sunt amestecate în procesul de acoperire datorită omisiunii de inspecție, va elibera grav aerul în camera de vid, care poate provoca decolorarea întregului lot de produse sau chiar poate determina ștergerea produselor originale OK, iar consecințele vor fi de neconceput.
Procesul de pretratare (pistol de abur, sablare, lustruire, curatare)
Scopul tratamentului prealabil este de a purifica sau aburita suprafata partilor chimice.
Purificarea este de a elimina toate tipurile de contaminare de suprafață, pregătirea de suprafață curată. Purificarea prin mijloace mecanice, fizice sau chimice, de obicei cu o varietate de agenți de purificare. Coarsening, spre deosebire de photoetching, vizează pregătirea suprafețelor abrazive pentru a spori rezistența structurală a decorului de acoperire sau de acoperire. Avem acum metodele principale de pretratare: curățarea cu aburi la temperaturi ridicate, curățarea, sablarea, șlefuirea, lustruirea și alte metode.
Spălare cu aburi la temperaturi ridicate
În prezent, atelierul PVD utilizat în mod obișnuit de echipamente de curățare cu aburi la temperaturi ridicate este pistolul de abur. Temperatura maximă de funcționare poate atinge 145 de grade, iar presiunea aerului este de aproximativ 3 ~ 5 bari. Deoarece matrița conține adesea găuri mici, găuri filetate, adesea ulei, răcire reziduală și alte impurități în gaură, metoda de curățare convențională este dificil de îndepărtat. În acest moment, echipamentul de spălare cu aburi la temperaturi ridicate poate maximiza avantajele sale. curățenie
XV. Procedurile de curățare a stratului de acoperire înaintea fiecărei fabrici sunt după cum urmează:
1. Îndepărtarea ceară cu ultrasunete 2. Peste apă 3. Îndepărtarea cu ultrasunete a uleiului 4. Peste apă 5. Înlocuirea cu ultrasunete 6. Peste apa 7. Peste apa pură 8. Acest lucru se datorează faptului că substratul de acoperire decorativ este în cea mai mare parte din oțel inoxidabil sau aliaj de titan, a rugini. În plus, nu este permisă acoperirea decorativă pe filigrane, pete și alte defecte. Prin urmare, acoperirea decorativă cu cerințele de calitate a apei din apa pură este extrem de ridicată și chiar și pentru a ajunge la mai mult de 15 m Ω . Pentru a asigura o calitate înaltă a curățeniei, se poate repara curățarea și în înaltă calitate a apei pure și de imersie cu ultrasunete pentru o lungă perioadă de timp pentru a obține. Cu toate acestea, curățarea morului este diferită, în special oțelul de tip fierbinte, dacă învelișul decorativ va curăța, va rugina într-o mizerie.
Datorită acoperirii mucegaiului de pe suprafața starii originale, în plus față de unele mucegaiuri de înaltă calitate a lentilelor, în general acoperirile mai decorative sunt dură, prin urmare, pe suprafața acoperirii după ce cerințele de stare nu sunt la fel de mari ca și acoperirile decorative, noi să luăm apă repede, cu aer comprimat uscat, fără ulei, să suflăm uscat, apoi metoda de uscare a mucegaiului din fabrică pentru a face față vânturilor puternice. Și acele mucegai de înaltă calitate standard, sunt, în general, 136 de oțel inoxidabil, pot împrumuta metoda de curățare decorative de acoperire.
Într-un cuvânt, metoda de curățare înainte de acoperirea matriței depinde de diferitele materiale folosite de matriță, de suprafața înainte de acoperirea matriței este diferită și nu este aceeași.
The following is a few materials rust from difficult to easy sort, for reference:
Stainless steel, hard alloy, metal ceramic alloy, DC53, high speed steel, 8407 have an automatic cleaning machine model CR288, made in Germany. The maximum cleaning capacity of this machine is 80KG, mainly used for cleaning tools, small parts, or small size of the mold. It has a total of three cleaning cylinder, the solution is tap water + cleaning agent, tap water, deionized water. In addition to the common ultrasonic, water washing, spray, swing, hot air drying and other functions, the machine is another advantage is the final set of vacuum steps, can make the moisture as soon as possible volatile.
Automatic cleaning machine memory ten kinds of technology, are preset by the supplier. One to nine can be used for different types of products, different surface state purification treatment. The tenth is used for cleaning agent.
sand blast
Sand blasting is the use of compressed air to make abrasive strong erosion workpiece surface, so as to remove rust, carbon deposition, welding slag, oxide, residual salt, old paint layer and other surface defects. Sand blasting can be divided into dry sand blasting and wet sand blasting according to the conditions of abrasive use.
The technological parameters of sand blasting mainly include gun distance, inclination Angle, rotating speed, moving speed, stroke, round trip times, sand blasting time and sand blasting air pressure. The parameters we have used are gun range: 30~70mm; Angle of 30 ~ 70? C; The rotating speed of the clamping table is 10~30; Round trip times: 3~9 times; Sand blast pressure: 1.8~3.5 bar, etc. In the specific operation, the upper and lower limits are selected according to the degree of dirt on the workpiece surface, the hardness of the workpiece, the geometry of the workpiece surface and other factors. The abrasive we choose in the dry sandblasting machine is glass beads, suitable for spraying some hardness medium materials, such as oil steel, mold, etc. In the liquid sandblasting machine selected abrasive alumina, high hardness, suitable for some high hardness of the material, such as hard alloy material. Abrasive size is also important for die coating. If the abrasive size is too large, the workpiece surface is too rough; If the particle size of abrasive is too small, and will reduce the impact force, or even embedded in the workpiece surface, cleaning is difficult to remove, so that the workpiece coating adhesion is reduced. For this reason, some European countries, on the die coating before blasting abrasive particle size used to do A careful study, strict enough to ensure that more than 85% of the grain size in the A, B point range before use. In contrast, China's abrasive suppliers are still lack of consensus in this regard, we also rarely do this test.
PVD coating process (heating, ion cleaning, coating, cooling, process gas, air pressure, temperature, sputtering power) FQC
1. Function Quality Control 2. Function Quality Control 2. The content of FQC mainly includes methods of appearance inspection, layer depth inspection, adhesion inspection, wear resistance inspection, corrosion resistance inspection and simulation test. I plant the main application of the current appearance inspection, layer depth inspection and adhesion inspection.
As most of the products we come into contact with are not allowed to do destructive inspection, we will put in the sample with each batch when coating. When you do a depth test and a adhesion test, in most cases, you're actually checking the sample with the batch. Since it is difficult to agree between the sample and the product in terms of raw materials, heat treatment status, clamping position, etc., there will be certain error between the detected result and the actual value of the product. Sometimes there may be considerable error, can only be used as a reference. Of course, when necessary, we can also make simulation parts to achieve the purpose of accurate measurement.
appearance inspection
Open the door for the product, the surface should be carefully checked for cracks, coating, loose and other defects. For knives, knives, also need to carefully examine the state of their blades under the microscope.
Layer deep check
There are many methods for depth inspection, such as microsection metallography, X-ray examination, optical test with monochromatic light as the light source, ball mill test and so on. The layer depth inspection of die coating is carried out on a ball mill. The method is to use a steel ball with a diameter of 10mm to test the surface rolling grinding, and then measure the relevant data of the grinding marks under the microscope, and put it into the formula to calculate the depth of the layer.
This kind of layer depth examines the characteristic of the method is: convenient and applicable, error is largo. But this error applied to die above the impact will not be too large. Interested colleagues may also refer to the relevant literature.
There are a lot of adhesion inspection methods, each factory according to the characteristics of their products, have developed the corresponding test methods. Among them, there are two authoritative methods. One is to do indentation test with conical diamond head on rockwell hardness tester, observe under the microscope, and judge the adhesion of the coating by the number of cracks around the indentation. This method has high requirements for the shape of the diamond head. It not only strictly requires the center point to be in the center of the circle, but also requires the roundness of the diamond cone to be very regular. Unfortunately, at present, China does not have its national or industry standards; Another method is the scratch method, some of our coating launched earlier scientific research departments, is also the use of this method, there are special national industry standards for query.
Besmear after processing technology of jig (sandblasting, painting fat technology) detection technology (binding force test, the deep layer of detection, acid corrosion) coating stripping technology (TiAlN/TiN stripping technology, CrN/DLC/CrAlTiN stripping technology, the surface of the cemented carbide coating stripping technology) application technology of the coated tools (in the proper selection of coating, coating tool used correctly
Coating on the tool optimization is very big, because the high speed cutting machining than the traditional cutting temperature is higher, the application of coating, can play its role in high temperature, oxidation resistance and hardening materials. For example, chromium nitride (CrN) coatings reduce friction coefficients and improve finish and chip removal.
XVI. Specification of main technical requirements
1. Double-color PVD matching selection is conducted between traditional and conventional colors such as black, silver, gold and common rose;
2. Two-color PVD pairing on or between 3D surfaces is not allowed;
3. Two-color PVD design can be carried out on 2D plane structure;
4. As far as the current technical conditions are concerned, it is limited to common and regular colors, such as black, silver, gold and common rose. Two-color PVD matching selection is conducted between traditional and conventional colors such as black, silver, gold and common rose.
IKS PVD,Decorative coating,Tools and Mould coating,optical coating machine,contact with us now,iks.pvd@foxmail.com


