Cunoștințe generale despre pompa de vid
Mar 13, 2019| Cunoașterea generală a pompei de vid
1. Metoda de obținere a vidului
Echipamentul care poate descărca gazul din recipientul închis sau poate reduce numărul de molecule de gaz din recipient se numește echipament de achiziție de vid sau pompă de vid. În prezent, s-au utilizat diferite metode în tehnologia vidului pentru a obține și măsura presiunile variind de la 105Pa la 10-13pa, până la 18 ordine de mărime. Evident, este foarte dificil să se obțină starea gazului într-un spațiu cu presiune scăzută, cu un singur tip de pompă de vid.
În tehnologia de achiziție a vidului, există două modalități de obținere a vidului în prezent. Una este de a descărca gazul direct din recipientul închis prin mișcarea unui anumit mecanism. Celălalt este de a adsorba sau de a condensa moleculele de gaz pe suprafața cu temperatură scăzută prin metode fizice și chimice. Există multe tipuri de pompe de vid fabricate prin aceste două metode, iar metodele de clasificare sunt diferite. Cu toate acestea, metoda cea mai frecvent utilizată este clasificarea pompelor de vid în funcție de principiile lor de funcționare sau de caracteristicile lor structurale. Acest lucru va fi acoperit în secțiunea următoare.
2. Clasificarea pompelor de vid
Conform principiului de funcționare al pompei de vid, pompa de vid poate fi în principiu împărțită în două tipuri, și anume, pompa de transfer de gaz și pompa de captare a gazului. Deoarece tehnologia de aplicare în vid în domeniul de producție și de cercetare științifică la cerințele de aplicare domeniul de aplicare a presiunii este din ce în ce mai larg, necesitatea cea mai mare parte constă din mai multe comune, după extragerea pompei de vid pompa de vid poate îndeplini cerințele de producție și științifice procesul de cercetare, deci alegeți mai multe tipuri de pompe de vid în condițiile de aspirație ale pompei de vid mai mult. Din motive de confort, este necesar să se clasifice aceste pompe în detaliu în funcție de principiile lor de funcționare sau de caracteristicile lor structurale. Este descrisă după cum urmează:
(1) Pompă de transfer de gaz
Pompa de transfer de gaz este un fel de pompă de vid care poate face gazul inhalat și evacuat continuu, pentru a atinge scopul pompării. Există în principiu două tipuri de pompă:
1) pompă de vid cu volum variabil
Pompa de vid cu capacitate variabilă este un tip de pompă de vid care utilizează schimbarea periodică a volumului camerei de pompare pentru a finaliza procesul de aspirație și de evacuare. Gazul este comprimat înainte de a fi expulzat. Această pompă este împărțită în două tipuri rotative și rotative:
(1) pompă de vid cu piston reciproc: este utilizarea mișcării reciproce a pistonului cavității pompei, inhalarea gazului, comprimarea și ieșirea. Prin urmare, cunoscut și sub denumirea de pompă de vid cu piston.
Pompa rotativă de vid: este utilizarea pistonului camerei pompei pentru a face mișcarea de rotație, inhalarea, comprimarea și ieșirea gazului. Pompa de vid rotativă are următoarele tipuri:
ulei pompă de vid sigilie: este utilizarea de etanșare ulei între părțile în mișcare ale spațiului, reduce spațiul dăunător al unei pompe rotative de capacitate variabilă de vid. Această pompă este de obicei echipată cu dispozitiv de balast, este cunoscută și ca pompă de vid pentru balast. În funcție de caracteristicile sale structurale sunt împărțite în următoarele cinci tipuri.
A) pompă de vid rotativă: rotorul cu o anumită excentricitate instalat în carcasa pompei și carcasa pompei pe suprafața suprafeței fixe din apropierea fantei rotorului este echipat cu două (sau mai multe) caneluri rotative, atunci când rotorul rotativ de-a lungul glisierei sale glisante reciproce și contactul cu peretele carcasei pompei întotdeauna, vana rotativă cu rotație a rotorului, cavitatea pompei poate fi împărțită în mai multe deplasări variabile.
B) pompă de vid cu supapă: o supapă de deplasare este instalată în exteriorul rotorului excentric. Rotorul se rotește pentru a acționa supapa de alunecare pentru alunecare și rotire de-a lungul peretelui interior al carcasei pompei. Supapa de supapă din partea superioară a supapei de glisare poate aluneca în ghidajul valvei glisante, iar camera pompei este împărțită în două volume variabile.
C) pompa de vid pentru stator: un rotor excentric care este aproape de suprafața interioară a pompei este instalat în carcasa pompei și o paletă radială de alunecare, care este întotdeauna în contact cu suprafața rotorului, este montată pe carcasa pompei. Când rotorul se rotește, paleta culisantă se poate deplasa în sus și în jos pentru a împărți camera pompei în două volume variabile.
D) pompă troocidică de vid: echipată excentric cu un rotor trochoidal în camera pompei, se rotește de-a lungul peretelui interior al camerei pompei și împarte camera pompei în două volume variabile.
E) pompă de vid multi-cameră cu vid rotativ: mai multe studiouri independente pompe de vid rotative de vid, acționate de același motor, sunt aranjate în paralel într-o carcasă de pompă.
(2) Pompă de vid uscată: este o pompă de vid cu volum variabil, fără ulei (sau lichid).
(3) pompă de vid cu inel lichid: cu multe lame ale excentricului rotorului instalat în carcasa pompei, atunci când se rotește, lichidul (de obicei apă sau ulei) în inelul lichid concentric al inelului de pompă, inelul lichid și lama rotorului formează câteva volumul schimbării perioadei volumului, se numește și pompă de vid rotativă de capacitate variabilă.
(4) pompă de vid rădăcină: pompa echipată cu două direcții opuse de rotație sincronă a formei cu lamă dublă sau a rotorului în formă de mai multe palete între rotor, rotor și peretele cochiliei pompei sunt menținute între un anumit spațiu. Acesta aparține pompei de vid rotative. Pompa de rapel mecanic este acest tip de pompă de vid.
2) pompa de transfer de impulsuri
Pompa se bazează pe lamele de rotație de mare viteză sau pe jeturile de mare viteză pentru a transmite impuls moleculelor de gaze sau gaze, astfel încât gazul să treacă continuu de la intrarea pompei la ieșire. Specific pot fi împărțite în următoarele tipuri.
(1) pompa de vid molecular: este utilizarea de mare viteză de rotație rotor de energie de transport la moleculele de gaz, astfel încât compresia, evacuare o pompă de vid. Acesta vine în următoarele tipuri:
Pompa moleculară de tracțiune: moleculele de gaz și mișcarea de mare viteză a coliziunii rotorului și a impulsului de câștig, a fost trimisă la export, prin urmare, este un fel de pompă de transfer de impulsuri.
(2) pompă moleculară turbină: pompă cu disc orizontal sau cu rotor cu lamă, în rotația discului stator (sau stator). Viteza liniară a circumferinței rotorului este foarte mare. Pompa funcționează în mod normal în stare de curgere moleculară.
(3) pompa moleculară compus: este prin turbină și tip de tracțiune două combinații de serie de pompe moleculare ale unei pompe moleculare de vid compuse.
Pompa de vid cu jet: este un fel de pompă de transfer de impulsuri care utilizează avantajul căderii de presiune a efectului Venturi pentru a produce jet de mare viteză pentru a transporta gazul la ieșire, adecvată pentru funcționarea în fluxul vâscos și starea fluxului de tranziție. Această pompă poate fi împărțită în detaliu în următoarele:
Pompa de vid cu injecție lichidă: la lichid (de obicei apă) ca mediu de lucru al pompei de vid.
(2) pompă de vid în injecție de gaz: gaz necondensabil ca mediu de lucru al pompei de vid.
(3) pompă de vid cu injecție de abur: pentru abur (apă, ulei sau mercur și alte abur) ca mediu de lucru al pompei de vid.
Pompa de difuzie este debit de abur de mare viteză de joasă presiune (ulei sau vapori de mercur) ca mediu de lucru al pompei de vid. Moleculele gazului difuzează în fluxul de abur și sunt trimise la ieșire. Densitatea moleculară a gazului este întotdeauna foarte scăzută în fluxul de jet. Pot fi împărțite în:
(1) pompă de difuzie de auto-purificare: pomparea impurităților volatile lichide prin intermediul unei transmisii mecanice speciale la export și nu înapoi la cazan într-o pompă de difuzie a uleiului.
(2) pompă de difuzie de tip fracționare: această pompă are un dispozitiv de fracționare, astfel încât presiunea aburului este vapori lichizi de lucru scăzute în duza de lucru cu vid înalt, iar presiunea aburului este o cantitate mare de vapori lichizi de lucru în duza de lucru cu vid scăzut; o pompă de difuzie a uleiului în mai multe etape.
Pompă cu jet de difuzie: este o pompă de transfer de impuls compusă dintr-o duză cu o singură treaptă sau cu mai multe etape cu caracteristici ale pompei de difuzie și o duză cu o singură treaptă sau cu mai multe trepte, cu caracteristici de pompare de vid în vid în serie. Pompa rapelului de ulei este de acest tip.
Pompă de transfer de ioni: este o pompă de transfer de moment care transferă gazul ionizat la ieșire sub acțiunea câmpului electromagnetic sau a câmpului electric.
2. Pompă de captare a gazului
Această pompă este o adsorbție sau condensare a moleculelor de gaze pe suprafața interioară a pompei, reducând astfel numărul de molecule de gaz din container pentru a atinge scopul pompei de pompare de vid, există următoarele tipuri.
1) pompă de adsorbție
Se bazează în principal pe suprafața mare a adsorbantului (cum ar fi materialul poros) al adsorbției fizice pentru a pompa un tip de pompă de vid colector.
2) pompa getter
Este o pompă de vid care folosește utilizatorul pentru a capta gaz prin combinare chimică. Un metal sau aliaj, de obicei, sub forma unui film proaspăt sau depus. Pompa de sublimare este de acest tip.
3) pompa de ioni de preluare
Se face ca gazul ionizat prin acțiunea câmpului electromagnetic sau a adsorbției câmpului electric pe suprafața materialului să fie inhalat, pentru a atinge scopul pompării gazului. Acesta vine în mai multe forme, după cum urmează.
Pompa de ioni prin evaporare: o pompă de vid în care gazul ionizat este adsorbit pe un material de aspirație care este sublimat (sau evaporat) într-o manieră discontinuă sau continuă și este acoperit de peretele interior al pompei pentru a obține aspirația.
Pompa de ioni de pulverizare: pompa este adsorbția gazului ionizat prin pulverizarea continuă a catodului din materialul de preluare, în scopul realizării scopului unei pompe de vid.
Pompă cu temperatură scăzută
O pompă de vid care folosește o suprafață cu temperatură scăzută pentru a capta gaz
3. Parametrii de performanță ai pompei de vid și domeniul de utilizare
Parametrii de performanță ai pompei de vid
1) presiunea maximă a pompei de vid
Unitatea de presiune maximă a pompei este Pa, care se referă la cea mai joasă presiune stabilă atunci când pompa este echipată cu un capac de testare standard la intrare și operează în condiții specificate fără a introduce gaz pentru funcționare normală.
2) viteza de extracție a pompei de vid
Unitatea de pompare a pompei este m3 / s sau l / s, care se referă la raportul dintre debitul de gaz prin capacul de încercare și presiunea de echilibru măsurată la poziția desemnată a capacului de încercare atunci când pompa este echipată cu o presiune standard capacul de testare și funcționează în condiții specificate. Viteza pompei.
3) capacitatea de extragere a pompei de vid
Unitatea de capacitate de extracție a pompei de vid este Pa m3 / s sau Pa l / s. Se referă la debitul de gaz al pompei.
4) presiunea de pornire a pompei de vid
Unitatea de presiune de pornire a pompei de vid este Pa, care se referă la presiunea în care pompa este pornită fără deteriorare și are efectul de pompare.
5) presiunea pre-stadială a pompei
Unitatea de presiune a pompei de vid este Pa, se referă la presiunea de evacuare mai mică decât o atmosferă de presiune de ieșire a pompei de vid.
6) presiunea maximă pre-stadială a pompei de vid
Unitatea maximă de pre-presiune a orificiului de pompare a vidului este Pa, care se referă la presiunea care depășește pre-presiunea care poate deteriora pompa.
7) presiunea maximă de lucru a pompei de vid
Unitatea de presiune maximă de lucru a pompei de vid este Pa, care se referă la presiunea de admisie corespunzătoare cantității maxime de aer pompat. La această presiune, pompa poate continua să funcționeze fără deteriorare sau deteriorare.
8) raportul de compresie
Raportul de compresie este raportul dintre presiunea de ieșire a pompei și presiunea de intrare pentru un anumit gaz.
9) coeficientul lui ho
Raportul dintre viteza reală de pompare pe suprafața canalului de pompare și viteza teoretică de pompare calculată pe baza efuzelor moleculare.
10) coeficient de viteză de pompare
Raportul dintre viteza reală de pompare a pompei și viteza de pompare teoretică calculată prin revărsarea moleculară la intrarea pompei.
11) rata de reflux
Unitatea de rată de reflux a pompei este de g / cm2.s. Trebuie să indicați când pompa funcționează conform condiției de formulare, debitul de masă care trece zona de intrare a pompei.
12) cantitatea permisă de vapori de apă
Unitatea permisă de vapori de apă este kg / h, care se referă la debitul masic de vapori de apă care poate fi îndepărtat de pompa de balast de aer în timpul funcționării continue în condiții normale.
13) presiunea maximă admisibilă de admisie a vaporilor
Unitatea maximă admisă de presiune de admisie a vaporilor este Pa. Se referă la presiunea maximă de admisie a vaporilor de apă care poate fi îndepărtată de pompa de balast în timpul funcționării continue în condiții normale de mediu.
4. Domeniul de aplicare al pompei de vid
Deoarece toate tipurile de pompe de vid au diferite presiuni de lucru și presiune de pornire, alegerea pompei de vid trebuie să îndeplinească aceste cerințe. Tabelul 3-1 prezintă domeniul presiunii de lucru și presiunea de pornire a diferitelor pompe de vid comune pentru referință.
Tabelul 3-1 Domeniul presiunii de lucru și presiunea de pornire a pompelor de vid comune
Tip de pompă de vid | Domeniul presiunii de lucru (Pa) | Presiunea de pornire (Pa) |
Pompă de vid cu piston Pompă rotativă v acuum Pompă de vid cu inel de apă Rădăcină pompă de vid Pompă turbomoleculară Pompa cu jet de abur Pompa de difuzie a uleiului Pompa cu jet de vapori Pompă de adsorbție a sitei moleculare Pompa de ioni de pulverizare Pompă de sublimare cu titan Zirconium aluminiu pompă getter Pompă cu temperatură scăzută | 1 × 10 5 - 1,3 × 10 2 1 × 10 5 - 6,7 x 10 -1 1 × 10 5 - 2,7 × 10 3 1,3 × 10 3 - 1.3 1 .3 - 1,3 × 10 -5 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -7 1,3 × 10 - 1,3 × 10-2 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -3 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 - 1,3 × 10-11 1,3 - 1,3 × 10-11
| 1 × 10 5 1 × 10 5 1 × 10 5 1,3 × 10 3 1.3 1 × 10 5 1,3 × 10 <> × 10 5 1 × 10 5 6,7 × 10-1 1,3 × 10 -2 1,3 × 10 1,3 - 1,3 × 10 -1
|
5. Sarcina pompei de vid în sistemul de vid
Deoarece performanța tuturor tipurilor de pompe de vid poate îndeplini punctul comun de aspirare a recipientului, există încă diferențe. Prin urmare, este foarte important să se clarifice sarcinile de lucru ale pompei în sistemul de vid. Funcțiile pompei în diferite domenii de lucru pot fi rezumate după cum urmează
1) pompa principală din sistem
Așa-numita pompă principală este pompa de vid care aspiră direct sistemul de vid care este pompat de vas pentru a obține gradul de vid necesar pentru a îndeplini cerințele tehnologice.
2) pompă de pompare
Pompa brută se referă la sistemul de vid din presiunea atmosferică pentru a reduce presiunea unui alt sistem de pompare poate începe să funcționeze pompa de vid.
3) pompa de fază față
Pompa de fază din față este o pompă de vid utilizată pentru a menține presiunea din faza frontală a altei pompe sub presiunea maximă admisă
4) pompa de întreținere
Pompa de întreținere se referă la momentul în care sistemul de pompare a vidului este foarte mic, nu poate utiliza eficient pompa frontală principală. În acest scop, în sistemul de vid cu o viteză de pompare mai mică a pompei frontale auxiliare pentru a menține funcționarea normală a pompei principale sau pentru a menține pompa de vid evacuată, recipientul necesită presiune scăzută.
5) pompă de vid grosieră sau pompă cu vid scăzut
Pompa brută și cu vid scăzut se referă la pompa de vid care funcționează în intervalul de presiune scăzut sub aspirație sau presiune de aspirare, după pornirea din atmosferă și reducerea presiunii recipientului pompat.
6) pompă de vid înalt
Pompa de vid înaltă se referă la pompa de vid care funcționează în domeniul de vid înalt.
7) pompă de vid ultra-înaltă
Pompa de vid foarte înaltă se referă la pompa de vid care funcționează în domeniul ultra-aspirator.
8) pompă de rapel
Pompa de pompare se referă de obicei la lucrul dintre pompa de vid scăzută și pompa de vid înaltă, pentru a îmbunătăți sistemul de pompare în intervalul de presiune mijlocie sau pentru a reduce viteza de pompare a cerințelor pompei de vid în stadiul de funcționare a pompei.
6. Modele de pompe de vid și specificații ale metodei de reprezentare
Conform standardului JB / t7673-95 al industriei mecanice din Republica Populară Chineză, diferite pompe de vid interne sunt alcătuite din două părți: tip de bază și auxiliar, cu o linie orizontală între ele. Modelul de expresie este 123 - 456. Numărul 123 indică modelul de bază și 456 indică modelul auxiliar.
Modelele pompelor de vid interne sunt de obicei reprezentate de alfabetul fonetic chinez în tabelul 3-2. Dacă litera "pinyin" din fața cuvântului "2" înseamnă că pompa din structura pompei în două trepte.
Unele serii de pompe de vid au un grad geometric pentru viteza lor de extracție. Unitățile sunt L / S. Există 18 grade, 0,2, 0,5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. debitul pompelor în mm. Ca mai multe tipuri de pompe, selecția ar trebui să se refere la diferiți producători de specificații de produs, este foarte important.
Tabelul 3-2 Codurile piniin chinezești și numele pompelor de vid utilizate în mod obișnuit
Cod | Nume | Cod | Nume |
W | pompa cu piston | Z | Pompa cu jet de difuzie a pompei (pompa de racire a uleiului) |
D | pompă de vid cu piston rotativ | S | pompă de sublimare |
X | o pompă de vid rotativă cu glisantă | LF | Pompa de ioni compusă |
H | · Pompă de vid cu piston rotativ | GL | Zirconium aluminiu pompă getter |
ZJ | Rădăcină pompă de vid (pompă mecanică de rapel) | DZ | · frigider Cryopump
|
YZ | pompa de vid pompă trochoid | DG | Pompa criogenică de infuzie |
L | pompa de ioni de sputter | DACĂ | · pompă de adsorbție a sitei moleculare |
XD | Pompă de vid multi-rotativă cu vid în staționare | SZ | pompa de apă |
F | pompa moleculară | PS | pompă cu jet de apă |
K | Pompa de vid pentru difuzie de ulei | P | pompa de ejector de abur |
IKS PVD, avem echipa de profesionisti pentru a proiecta aspectul pompei de vacuum a mașinii de acoperire cu vid PVD, contactați-ne acum, iks.pvd @ foxmail.com