Structura detaliată a mașinii de acoperire cu vid

Mar 02, 2019|

Structura detaliată a mașinii de acoperire cu vid

 

Masina de acoperire cu vid în vid, mașină de acoperire este cel mai utilizat echipament în producția de condiții de vid. Componentele sale asociate: pompă mecanică, pompă de rapel, pompă de difuzie a uleiului, pompă de condensare, sistem de măsurare a vidului.

Următoarele am prezentat în detaliu compoziția și principiul de lucru al fiecărei părți.

设备1

1. Corpul principal de vid - camera de vid

 

Conform cerințelor diferite ale produselor de prelucrare, mărimea cavității de vid nu este aceeași, cea mai frecvent utilizată în prezent este 1,3M, 0,9M, 1,5M, 1,8M etc., cavitatea fiind din material din oțel inoxidabil, nu rugina, solid, etc., fiecare parte a cavității de vid are o supapă de conectare, utilizată pentru a conecta pompa.

 

2. Sistem de pompare auxiliar

 

Sistemul de evacuare este alcătuit din "pompă de difuzie + pompă mecanică + pompă rădăcină + capcană rece la temperatură scăzută + policolor"

 

Debitul de evacuare este după cum urmează: pompa mecanică pompează prima cameră de vid într-o stare de vid scăzută mai mică de 2,0 * 10-2pa, ceea ce asigură premisa pompei de difuzie de a pompa vidul. Mai târziu, când pompa de difuzie pompează camera de vid, pompa mecanică și pompa de difuzie a uleiului formează o serie pentru a finaliza acțiunea de pompare în acest fel.

 

Sistemul de evacuare este o parte importantă a sistemului de vid al mașinii de acoperire. Acesta este compus în principal din pompă mecanică, pompă de rapel (în principal, pompa de rădăcini introdusă) și pompă de difuzie a uleiului.

 

Pompa mecanică, cunoscută și sub denumirea de pompă mecanică, pompa mecanică este una dintre cele mai utilizate pompe cu vid scăzut, este un ulei care menține efectul de etanșare și se bazează pe metode mecanice pentru a schimba constant volumul cavității de aspirație din pompă, astfel încât volumul de gaz din recipientul pompat să se extindă constant pentru a obține vid.

 

Există mai multe tipuri de pompe mecanice, utilizate în mod obișnuit pentru tipul de supape alunecare (acesta este utilizat în principal în echipamentele mari), cu piston cu piston, tip fix și rotativ (în prezent, cel mai răspândit, această lucrare a fost introdusă în principal).

 

Pompa mecanică este adesea folosită pentru a îndepărta aerul uscat, dar nu poate elimina conținutul de oxigen este prea mare, exploziv și gaz coroziv, pompa mecanică este în general utilizată pentru a îndepărta gazul permanent, dar nu are un efect bun asupra apei gazoase, astfel încât să nu poată fi îndepărtat apa gaz. Pompa rotativă joacă un rol major în părțile statorului, rotorului, șrapnelului etc., rotorul din stator, dar diferit de bobinele statorului, precum două cercuri inscripționate, canelură rotor cu două bucăți de șrapnel, două bucăți de șrapnel cu un arc în mijloc, pentru a vă asigura că șrapnelul a aderat strâns la peretele statorului.

 

Cele două șrapene ale sale joacă în mod alternativ două roluri, pe de o parte din admisia de aer în gaz, iar pe de altă parte, au fost comprimate în pompa de gaze cu gaze. Fiecare rotație a rotorului, pompa a finalizat două aspirații și două evacuări. Atunci când pompa continuă rotația în sensul acelor de ceasornic, pompa cu rotație variază continuu prin gazul de admisie a aerului și continuu de la evacuarea gazelor de evacuare din exteriorul pompei, pentru a realiza scopul pompării recipientului. Pentru a îmbunătăți pompa de vid de limitare, statorul pompei este înmuiat în ulei și oriunde în spațiul degajat păstrează adesea suficient ulei în interior, umple golul, astfel încât lubrifierea uleiului, pe de o parte, și etanșarea și diferența de priză și efectul nociv al spațiului, împiedică curgerea inversă a moleculelor de gaze prin diferite canale la presiunea scăzută a spațiului.

 

Pompa mecanică pornește de la lucrul cu atmosfera, parametrul principal al acesteia este vidul limită, viteza de pompare, aceasta pentru proiectare și alege baza pompei mecanice. Pompa cu o singură treaptă poate pompa recipientul din atmosferă până la vidul limită de 1,0 * 10-1pa, pompa mecanică dublă, care poate pompa recipientul din atmosferă la 6,7 * 10-2 pa sau chiar mai mare.

 

Rata de extracție se referă la volumul de gaz care poate fi descărcat per unitate de timp atunci când pompa cu turbină rotativă funcționează în funcție de numărul nominal de rotații, care poate fi calculată prin următoarea formulă

 

Sth = 2nVs = 2nfsL

 

Fs reprezintă zona secțiunii cavității spațiu-timp la sfârșitul inspirației, L reprezintă lungimea cavității, coeficientul reprezintă procesul de evacuare al rotorului de două ori pe fiecare ciclu de rotație, Vs reprezintă sfârșitul inspirației atunci când rotorul este în poziția orizontală, volumul din cavitatea spațială-timp este cel mai mare, iar viteza de rotație este n.

 

Efectul evacuării pompei mecanice pe viteza motorului și libertatea benzilor au relație, atunci când centura motorului este slăbită, viteza motorului este lentă, efectul de evacuare a pompei mecanice va deveni mai rău, atât de des pentru a menține, , de asemenea, trebuie să verificați adesea etanșarea uleiului pompei mecanice, uleiul este prea mic, nu poate satisface efectul de etanșare, în interiorul scurgerii pompei, prea mult ulei, orificiul de aspirație, inspirația și evacuarea, în general 0,5 cm offline.

 

Pompă turbo / pompă de rădăcini: este de a avea o pereche de viteze sincrone de mare viteză de rotație cu dublă formă sau pompa mecanică rotor lobit, pentru că funcționează la fel ca suflanta rădăcini, astfel încât, de asemenea, poate apela pompa de vid rădăcini, pompa în interval de 100-1 mpa viteza de extracție de presiune foarte mult, aceasta face pentru capacitatea de evacuare a pompei mecanice deficiențe insuficiente în acest domeniu, pompa nu poate începe de lucru din atmosferă, nu au descărcare directă a atmosferei, rolul ei este doar de a măriți presiunea diferențială între orificiu de intrare și ieșire, restul pompei mecanice este necesar pentru a finaliza, prin urmare, trebuie să se potrivească cu pompa mecanică ca pompă de susținere.

Pompa mecanică în utilizarea procesului trebuie să acorde atenție următoarelor aspecte:

1, pompa mecanică care trebuie montată într-un loc curat și uscat.

2, pompa însăși pentru a menține curată și uscată, uleiul pompei are o etanșare și ungere, astfel încât să fie adăugat în conformitate cu cantitatea specificată.

3, pentru a înlocui în mod regulat uleiul pompei, înlocuitorul trebuie evacuat înainte de uleiul uzat, ciclu de cel puțin trei luni până la șase luni pentru înlocuirea o singură dată.

4. Conectați firele conform instrucțiunilor.

5, înainte ca pompa mecanică să se oprească pentru a închide supapa de admisie, apoi întrerupe alimentarea și deschide supapa de aer, aerul în pompă prin intrare.

6, în timpul funcționării pompei, temperatura uleiului nu poate depăși 75 de grade Celsius, în caz contrar vâscozitatea uleiului este prea mică și duce la etanșarea laxă.

7 sau verificați etanșeitatea centurii pompei mecanice, viteza motorului, viteza motorului pompei rădăcinilor și efectul de etanșare a inelului de etanșare.

 

Pompa de difuzie a uleiului: vidul limită al pompei mecanice este de numai 10-2 pa, când ajunge la 10-1 pa, viteza reală de pompare este doar 1/10 din teorie, dacă doriți să obțineți vid înalt, trebuie să utilizați difuzia de ulei pompa.

 

Deoarece pompa de difuzie a uleiului este prima pompă utilizată pentru obținerea unui vid înalt, este ieftină, ușor de întreținut și utilizată pe scară largă, astfel încât această lucrare se va concentra pe discuții.

 

Diferența de pompare a pompei de presiune este de 10-1 -10-7 pa, este utilizarea fenomenului de difuzie a gazelor la evacuare, are o structură simplă, ușor de operat, viteza de pompare este mare (cea mai mare poate ajunge la 10 + 5 l (s) și alte caracteristici. Pompa de difuzie a uleiului este compusă în principal din carcasa pompei, duza, conducta de deviere și încălzitor. Pompa de difuzie a uleiului (d-704 # în Japonia) este adăugată în principal în interior. În funcție de numărul de duze, acesta poate fi împărțit în pompă cu o singură treaptă și pompă în mai multe etape.

 

La baza pompei de difuzie se stochează uleiul pompei de difuzie. Partea superioară este orificiul de admisie a aerului, iar partea inferioară din partea dreaptă este orificiul de evacuare a aerului. În timpul funcționării, orificiul de evacuare a aerului este prevăzut cu presiunea de presiune de către pompa mecanică și cu pompa mecanică ACTS ca pompă precompoziție.

 

Atunci când uleiul pompei de difuzie este încălzit de către cuptorul electric, vaporii de ulei produși asigură presiunea de preîncărcare, iar pompa mecanică ACTS este pompa de preîncărcare. Atunci când uleiul pompei de difuzie este încălzit de către cuptorul electric, vaporii de ulei sunt emis pe conductă prin duza umbrelei. Deoarece există un vacuum de 1-10-1 pa furnizat de pompa mecanică din exteriorul duzei, vaporii de ulei pot fi evacuați pentru o anumită distanță, formând un flux de jet în direcția ieșirii de aer. În cele din urmă, jetul întâlnește peretele pompei răcit de apă de răcire, condensează în lichid și curge înapoi la evaporator, adică se evaporă, jeturile, condensează și circulă în mod repetat pentru a realiza extracția aerului.

 

Prin intermediul moleculelor de gaze din orificiul de admisie a aerului în pompă, odată ce a căzut în fluxul de abur, se reduce viteza de mișcare în jos, datorită jetului cu viteză mare (200 m / SEC), densității ridicate a aburului și pompa de difuzie cu greutate moleculară ridicată (300-500), poate lua în mod eficient molecule de gaz, deci în interfața jetului, moleculele de gaz nu pot fi blocate pentru o lungă perioadă de timp, iar fluxul de jet de pe ambele fețe ale interfeței , concentrația gazului de fum este foarte proastă, tocmai din cauza acestei diferențe de concentrație în interfața de acțiune a difuziei gazului de fum în jet, a fost luată la ieșire și la ieșirea prin pompa mecanică.

 

Presiunea vaporilor de ulei din pompa de difuzie este un factor important pentru determinarea vidului final al pompei.

 

Pompa de difuzie nu poate fi utilizată numai pentru pompare, cerințele generale ale presiunii maxime de ieșire a pompei sunt de 40 pa. Viteza de pompare a pompei de difuzie este programată pentru primul nivel al duzei și corpul pompei de diametru de intrare, mărimea zonei circulare dintre viteza de pompare nu este o valoare constantă, dar variază cu presiunea de admisie a aerului, când presiunea în 2 ~ 10 -10-3, viteza de aspirație a pompei de difuzie este cea mai rapidă, când presiunea este mai mică de 5 * 10-4 mpa, viteza de aspirație a pompei de difuzie este minimă, aproape nici o capacitate de aspirație (în acest moment, presiunea de admisie este mai mare, densitatea mare a aerului, face ca galeria de aburi să devină un jet de mare viteză pentru a bloca difuzia aerului, deci viteza de pompare în jos).

 

Pompa de difuzie trebuie curățată înainte de instalare și apoi poate fi încărcat uleiul de difuzie. Înainte de încălzirea uleiului, pompa trebuie mai întâi să fie aspirată și uleiul pompei de difuzie trebuie răcit la 60 ~ 70 grade Celsius înainte de oprirea mașinii. Apoi, gazul de eșapament din stadiul anterior poate fi închis și în final apa de răcire poate fi închisă.

 

Deoarece pompa de difuzie a uleiului nu este capabilă să pună capăt șanțului de revenire a uleiului, nu există nici o modalitate de a garanta produse de precizie 100% pure, în special în industria semiconductorilor, astfel încât există o "pompă de condens de vid înaltă + pompă mecanică cu vid scăzut" sistem de evacuare fără ulei, compus din sistemul de evacuare a pompei de condens, compus nu numai din eficiența de evacuare, este foarte mare și garantează în mod eficient curățarea camerei de vid, asigură calitatea produsului (pentru a evita produsele contaminate, pentru a spori aderența dintre stratul de acoperire și substratul), însă costurile de întreținere ale acestuia sunt foarte mari, costisitoare, astfel încât pompa de difuzie a uleiului nu există pe scară largă în penetrare.

 

Pompă de condensare la temperatură joasă: este un tip de pompă care condensează moleculele de gaz pe suprafața temperaturii scăzute pentru a realiza pomparea.

 

Principiul de funcționare a pompei de condensare: este, în principal, condensarea, captarea la rece și adsorbția fizică la temperatură scăzută a gazului pe suprafața cu temperatură scăzută.

 

Concentrația criogenică: heliul lichid sau heliul ciclului de refrigerare este utilizat pentru răcire în funcție de caracteristicile diferitelor gaze.

 

Capcana rece: fenomenul este că gazul necondensabil este prins de gaz condensabil. De regulă, gazele, cum ar fi dioxidul de carbon, vaporii de apă, azotul și gazul comprimat, formează mai întâi îngheț și apoi formează un strat de adsorbție pe suprafața cu temperatură scăzută, pentru a atinge scopul de a adsorbi alte gaze. Acesta este motivul pentru care efectul pompei criogenice în îndepărtarea gazului mixt este mai bun decât cel al gazului unic.

 

Absorbția la temperaturi scăzute: se referă la adsorbția gazului prin adsorbant pe suprafața temperaturii scăzute. Datorită interacțiunii puternice între moleculele de adsorbant și gaz, presiunea vaporilor poate fi mai mică decât presiunea vaporilor de saturație la temperatura de suprafață a condensului. Adsorbantul este de obicei carbon activat.

 

Rata de pompare a pompei de condensare și viteza de pompare care afectează pompa de condensare sunt corelate cu mărimea suprafeței de condensare. Conform datelor, viteza de pompare pe unitate a suprafeței de condensare este de 11,6 l / s. În plus, geometria suprafeței de adsorbție și localizarea carbonului activ, a structurii particulelor de carbon activ, a materialelor de lipire și a procesului de lipire are un impact important asupra vitezei de pompare. În al doilea rând, cheia este capacitatea frigorifică a frigiderului să fie suficient de mare .

 

Gauge de vid: gabaritul de vid este o parte importantă a mașinii de acoperire cu vid, este un mijloc important de a testa gradul de vid al mașinii de acoperire. Indicatorul de vid poate fi împărțit în gabaritul de vid absolut și în gabaritul relativ de vid conform principiului său de funcționare. Ecartamentul absolut al vidului poate măsura direct nivelul de presiune, în timp ce gabaritul relativ de vid poate măsura indirect doar gradul de vid.

 

Această lucrare prezintă, în principal, următoarele dispozitive de vid utilizate în mod obișnuit în mașina de acoperire:

Măsurarea vidului de rezistență (cunoscută și sub denumirea de măsurător de vid pirani):

 

Este compus în principal din sârmă de încălzire electrică, coajă și suport, în principal bazată pe presiunea scăzută, conductivitatea termică a gazului este proporțională cu presiunea modului de lucru. Deschiderea de mai sus este legată de sistemul de vid sub test. Sârma fierbinte este realizată din fire metalice cu rezistență la temperaturi ridicate. Cele două conducte de susținere sunt conectate cu linia de măsurare. Când presiunea scade, căldura pierdută prin conducția de căldură a gazului scade. Prin urmare, când curentul de încălzire al firului fierbinte este stabil, temperatura sârmei fierbinți se ridică și crește rezistența firului fierbinte. Presiunea este măsurată indirect prin măsurarea rezistenței firului fierbinte.

 

Acesta este principiul de funcționare a manometrului de rezistență, gama de măsurare a vidului este: între 100-10-1 mpa, este modelul WP-02 utilizat în prezent .

 

Controlul debitului cu descărcare controlat magnetic:

Cum funcționează: la începutul deversării, datorită spațiului, electronii liberi de la mișcarea anodică sub efectul câmpului electromagnetic ortogonal, traiectoria de electroni nu este dreaptă, ci spirală, și deoarece anodul este cadru, astfel încât electronica nu a fost îndeplinită pentru prima dată anodul, ci prin anod și respingerea de către catod și după întoarcere. Acest lucru poate fi repetat de mai multe ori pe anod. Pe măsură ce calea de electroni este mult prelungită, numărul de molecule care se ciocnesc și ionizează este crescut, astfel încât descărcarea (numită și descărcare pennică) este menținută la o presiune relativ scăzută (sub 10-4 pa).

În prezent, mai multe modele includ PKR251 și gi-pary.

 

Gabaritul de golire a tubului de descărcare: doi electrozi metalici sunt sigilați în tubul de sticlă și se adaugă o tensiune ridicată de cc de câteva mii de volți. Soluția de auto-susținere poate fi cauzată într-un anumit interval de presiune (1 * 10-3 ~ 2 * 10 paranteze). Gradul de vid poate fi determinat prin culoarea de descărcare.

 

Până în prezent, acest tip de manometru de vid a fost rar folosit datorită erorii sale mari, deteriorării ușoare și duratei scurte de viață.

 

3. Sistemul de evaporare

 

Sistemul de evaporare se referă în principal la dispozitivul de formare a filmului. Există multe dispozitive de formare a peliculei în mașină de acoperire, incluzând încălzirea prin rezistență, evaporarea pistoalelor electronice, pulverizarea magnetronului, pulverizarea cu rf, ionizarea etc. Am să introduc cele două metode de încălzire prin rezistență și evaporare cu arzător de electroni, deoarece folosesc aceste două metode Mai Mult.

 

Conform structurii și principiului de funcționare, evaporarea rezistenței este de departe cea mai răspândită metodă de evaporare și cea cu cel mai lung timp de aplicare. Modul în care funcționează este faptul că tungstenul ca o navă și apoi instalat în mijlocul celor doi electrozi, în mijlocul vasului cu tungsten cu ierburi, din nou lent până la curentul de electrod, prin curent prin tungsten, încălzirea electrică a barcii cu tungsten, în cazul în care cantitatea de căldură a vaporului de tungsten este mai mare decât punctul de topire a materialului de acoperire, sublimarea sau vaporizarea materialelor, această metodă de operare usoara, structura simpla, cost redus, asa ca este o multime de echipamente utilizate, dar evaporarea filmului subțire din cauza densității scăzute, plus o mulțime de material nu se poate folosi în acest fel la evaporare, deci are anumite limitări. Materialul de acoperire cu vapori de vapori de tungsten, punctul de topire al materialului trebuie să fie mai mic decât punctul de topire al bărcii cu tungsten, altfel nu există nici o modalitate de a efectua.

 

Evaporarea prin aruncare electronică este cea mai răspândită metodă de evaporare de până acum. Se poate evapora orice tip de material de acoperire. Modul său de lucru este: Materialul de acoperire în creuzet, sursa de evaporare într-o formă de filament, folosind un dulap special de control, filamentul cu un curent puternic, de înaltă tensiune, datorită materialului este filamentul de tungsten, deci va fi fierbinte, în sfârșitul va lansa electronice, iar adoptarea unui anumit câmp magnetic va fi adunată într-o anumită formă și prin desprinderea de pe creuzet, formând astfel un fascicul, datorită temperaturii electronului este foarte mare, poate topi orice materiale de acoperire, este după topirea fasciculului de electroni (o parte din material este sublimat direct), plante medicinale de molecule (atomi sau ioni) într-un vid în mișcare liniară, apoi se întâlnesc cu placa de bază și apoi se condensează După acest mod de creștere, formând un film ! Cele mai frecvent utilizate sunt realizarea unghiului de deformare a fasciculului de electroni în 270 de grade sau arma electronică electronică cu traiectoria e sau a fasciculului de electroni cu traiectoria de 180 de grade și arma electronică de tip c cu traiectoria din c.

 

Cel mai mare avantaj al evaporării fasciculului de electroni este: spotul fasciculului de electroni poate fi reglat la dorință, filamentul poate fi ascuns, poate evita poluarea, se poate evapora orice material de acoperire, întreținerea ușoară, viteza de evaporare poate fi controlată la discreție, , densitate mare a peliculei. Bună putere mecanică .

 

Metoda de pulverizare este de a bombarda suprafața materialului țintă cu ioni pozitivi de mare viteză. Prin transmiterea energiei cinetice, moleculele (atomii) din materialul țintă au suficientă energie pentru a scăpa de suprafața materialului țintă și apoi coagulează pe suprafața produsului pentru a forma un film.

 

Filmul depus prin metoda pulverizării are o aderență puternică și o puritate ridicată și poate pulveriza o varietate de materiale diferite în același timp. Cu toate acestea, are cerințe ridicate pentru materialul țintă și nu poate salva resurse cum ar fi pistolul de electroni.

 

În prezent, pulverizarea magnetron este metoda cea mai frecvent utilizată. Sputteringul Magnetron este de a aplica un câmp electric îmbunătățit paralel cu suprafața catodului și de a opri electronii lângă suprafața țintă a catodului pentru a îmbunătăți eficiența ionizării. Este cel mai simplu mod de operare, deci este utilizat pe scară largă.

 

4. Sistem de control al formării filmului

 

În prezent, există multe metode de monitorizare a filmului, cum ar fi monitorizarea vizuală, monitorizarea valorii fixe, monitorizarea oscilațiilor prin cristal, monitorizarea timpului și așa mai departe. Am introdus în principal monitorizarea vizuală, monitorizarea fixă (extremă) și monitorizarea oscilațiilor de cristal trei.

 

Monitorizarea vizuală, cunoscută și sub denumirea de monitorizare directă, este folosirea monitorizării ochilor, deoarece filmul în procesul de creștere, datorat fenomenului de interferență, va avea schimbări de culoare, ne bazăm pe modificările de culoare pentru a controla grosimea filmului. metoda are o anumită eroare, deci nu este foarte precisă, trebuie să ne bazăm pe experiență.

 

Valoarea fixă (valori extreme) de monitorizare: utilizează în principal tipul de reflecție (prin tip) de monitorizare optică. Metoda de monitorizare a valorii extreme: atunci când grosimea filmului crește, gradul său de reflexie și penetrare va urma modificarea, atunci când viteza de reflexie sau penetrare până la punctul extrem, putem ști că grosimea optică a stratului de acoperire ND este un sfert din lungimea de undă de monitorizare în) ori întregi. Cu toate acestea, eroarea metodei de valoare extremă este relativ mare, deoarece atunci când reflexia sau transmisia se schimbă foarte lent în apropierea valorii extreme, adică grosimea peliculei ND crește mult, modificările R / T. Poziția mai sensibilă este la o optime din lungimea de undă.

 

Metoda de monitorizare a valorii fixe: această metodă UTILIZEAZĂ punctul de oprire pentru a nu monitoriza nivelul undelor trimestriale ale lungimii de undă, iar calculatorul calculează reflectanța (sau rata de penetrare) a grosimii totale a peliculei la lungimea de undă, punct.

 

Monitorizarea oscilațiilor prin cristal:

 

Principiul de lucru al oscilației cristalului este acela că frecvența vibrațiilor de cristal de cuarț este invers proporțională cu masa sa. Cu toate acestea, unul dintre dezavantajele monitorizării cuarțului este că atunci când grosimea peliculei crește la o anumită grosime, frecvența vibrațiilor nu se datorează în întregime caracteristicilor cuartului însuși, deci există o relație liniară între grosime și frecvență.

 

Câteva metode de monitorizare au propriile avantaje și dezavantaje, dar, de obicei, acoperirea multistrat, monitorizarea optică va fi principala oscilație a cristalelor de cuarț ca metodă auxiliară.

 

În plus, pentru unii în procesul de acoperire trebuie umplut cu contor de gaz de control al debitului sau contor de control al presiunii, acestea trebuie să utilizeze supape sofisticate și sistem de detectare fotoelectrică pentru a controla.

 

În procesul de acoperire, de asemenea, nevoie de sistem de control rotativ, este de a pune arborele principal al umbrelei în rulment, și apoi utilizați motorul pentru a conduce rulmentul, astfel încât umbrela rotative. Apoi PLC controlează viteza de rotație.

 

Rotația creuzetului este acționată de un motor electric, metoda de numărare a inducției fotoelectrice este adoptată, iar placa de protecție este rotită prin comutatorul pneumatic.

 

Pentru a accelera viteza de extracție și a obține un anumit grad de vid, camera de vid trebuie de asemenea să fie frigorificată, adică aerul din interiorul camerei de vid este înghețat la -130 grade Celsius și aerul din interiorul camerei de vid este înghețat și pompat.

 

Comanda automată PLC, partea de comandă electrică a articolului este prima în programul de proiectare a intrărilor PLC în avans, circuitul principal al procesorului conectat la sistemul gol de pe panoul de comandă, când apăsați comutatorul de pe panoul de comandă, transmiterea informațiilor către centrala unitatea de procesare (CPU), apoi analiza și implementarea sistemului central de control și finalizarea acțiunilor prin instrucțiunile emise de sucursală.

 

Masina de acoperire este o multidisciplină a echipamentelor, IT integrează cele mai avansate tehnologii mecanice și electronice ale industriei, tehnologia de control, automatizarea electrică, tehnologia IT, tehnologia frigorifică, sistemele integrate microcircuit, sistemul de control al presiunii înalte, tehnologia mecanică, tehnologia de procesare, tehnologia fotoelectrică , tehnologia optică, tehnologia pneumatică de control, tehnologia senzorilor fotoelectrici, tehnologia de comunicații, tehnologia vidului, tehnologia optică și tehnologia de acoperire și așa mai departe.

 

Se poate spune că mașina de acoperire este un nou reprezentant al industriei.

 

Astăzi, mașina de acoperire a fost utilizată pe scară largă, filmul fiind acoperit în special pe scară largă, producția de diverse tipuri de filme subțiri a fost aplicată sistemului fotoelectric și instrumentelor optice, cum ar fi camerele digitale, camerele digitale, binoclurile, proiectorul, tehnologia de afișare, interferometru, rachete prin satelit, laser semiconductor, memuri, industria informației, producția de laser, toate tipurile de filtre, industria de iluminat, senzori, sticlă arhitecturală, industria automobilelor, decorațiuni, monede, strâns legată de viața umană.

 

Costul unei mașini de învelire importată ajunge de obicei la 3 milioane până la 10 milioane de RMB, iar costul echipamentelor casnice este de aproximativ 1 milion RMB.

IKS PVD, putem oferi instrumente de acoperire mașină, mașină decorativă de acoperire, mașină optică de acoperire, contactați-ne acum, iks.pvd@foxmail.com

Trimite anchetă