Comparație între DC Bias și Pulse Bias

Comparație între polarizarea DC și polarizarea impulsului

Placarea tradițională cu ioni cu arc este de a aplica polarizarea negativă DC pe substrat pentru a controla energia de bombardament ionic. Acest procedeu de depunere are următoarele dezavantaje: 1. Temperatura ridicată a substratului nu este favorabilă depunerii unei pelicule dure pe substrat cu o temperatură scăzută de revenire. 2. 3. Bombardarea ionică de mare energie provoacă pulverizare gravă, iar peliculele dure cu energie de prag de reacție ridicată nu pot fi sintetizate pur și simplu prin creșterea energiei de bombardament ionic. 4. În procesul de placare cu ioni cu arc de polarizare DC, pentru a restrânge temperatura excesivă a substratului cauzată de bombardarea continuă a ionilor pozitivi pe suprafața substratului, se adoptă în principal măsuri precum reducerea puterii de depunere, scurtarea timpului de depunere și adoptarea metodelor de depunere intermitentă. pentru a reduce temperatura de depunere. Aceste măsuri pot fi rezumate ca metode de control al energiei. Deși această metodă poate reduce temperatura de depunere, reduce și unele proprietăți ale filmului și, de asemenea, reduce eficiența producției și stabilitatea calității filmului, deci este dificil să promovăm aplicarea. În procesul de placare cu ioni cu arc de polarizare în impulsuri, deoarece ionii sunt bombardați de suprafața substratului într-un mod de impuls necontinuu, gradientul de temperatură dintre substrat și suprafață poate fi modificat prin ajustarea ciclului de lucru al polarizării impulsului și apoi Efectul de compensare a egalizării căldurii dintre substrat și suprafață poate fi modificat pentru a atinge scopul de a regla temperatura de depunere. În acest fel, înălțimea impulsului polarizat poate fi separată independent de temperatura piesei de prelucrat (nu se afectează reciproc sau au o influență mică), iar impulsul de înaltă tensiune poate fi utilizat pentru a obține efectul de bombardare al ionilor de înaltă energie pentru a îmbunătăți organizarea și performanța filmului, iar efectul de încălzire total al bombardamentului ionic poate fi redus prin reducerea ciclului de lucru pentru a reduce temperatura de depunere.

Companie IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire cu unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com