Caracteristici şi clasificarea unităţilor vid înalt Ultra

Characteristics şi clasificarea unităţilor vid înalt ultra

IKS PVD, PVD vid de acoperire machine fabricarea, contactati cu noi acum, iks.pvd@foxmail.com, pentru a obţine mai multe detalii despre maşină de acoperire.

Ultra-înaltă vid de unităţi de lucru la mai mult de 10^-5Pa au difuzie pompa, Pompe moleculare unităţi de vid ultra-înaltă şi fără ulei ultra-înaltă vid unităţi. Spaţiile de cazare au următoarele caracteristici:

1. ultimate vid sporită a pompei principale, 10^-7~ 10^-8Pa mai sus;

2.Poate rezista la temperaturi ridicate de 200 ~ 450℃coacere;

3.Presiunea parţială a gazului refluxul în pompa principală este foarte scăzut;

4. pentru selectivitatea pompat gaz pompa principală, de a fi dotate cu o mare suficient auxiliare pompa;

5. cerinţe de camera de vidare, tevi, valve și alte componente ale materialelor ieşire rata este foarte scăzut, rata de scurgere este foarte mic.

(1) difuzarea pompa ultra-înaltă unitate vid

Pompe de difuzie ca o pompă de prioritate în unitatea final vid, ultra gradul ridicat de vid este 10-7 ~ 10-8 pa.

Pentru a reduce de la pompa de difuzie înainte de nivelul de gaze difuzie şi blocul mecanice pompa ulei anti-difuziune efectul final vid, dar în faţa difuzarea pompa de nivel tip o viteză mică de pompare pompe de difuzie, pentru a reduce rata de compresie , reducerea difuziunii ca şi intrarea în pompă de difuziune, adăugând Titan sublimare bine mai sus pot reduce în continuare presiunea parţială de azot la pompa de difuzie, pot lua 10 la 11 pa ultra înaltă vid.

(2) molecular pompa ultra înaltă unitate vid

Unitatea vid înalt ultra cu Pompe moleculare ca pompa principală are un grad maxim de vid de 10-8pa, care se caracterizează prin fast start-up şi poluării cu hidrocarburi mici. În plus, o azot lichid rece bine pot fi adăugate la unitatea de a creşte viteza de pompare. O apa rece bine poate fi setat la ieșirea pompei mecanice pentru a preveni vaporii de ulei de la intrarea în sistem.

(3) ulei gratuit ultra înaltă vid unitate

Vid de unităţi care nu folosesc ulei ca fluidul de lucru şi nu sunt sigilate cu materiale organice sunt cunoscute ca pompele principale utilizate în mod obişnuit în ulei-free ultra-înaltă vid unităţi, cum ar fi pompe criogenice, pompe de titan, pulverizare ion pompe, etc., care pot obţine final vid gradul de 10^-7~ 10^-8Pa. În comparaţie cu unităţile de vid care conţin ulei, are următoarele avantaje:

1) curat vid fără surse de poluare pot fi obţinute;

2) atunci când este pornit fără ulei pompa vacuum, pompă de pre-pompare pot fi izolate;

3) în cazul pompare se opreşte brusc, sistemul nu va fi poluat;

4) nici ulei, nici o vibraţie, îmbunătăţi mediul de lucru;

5) limita mare vid, pompare de mare viteza, scurt timp de pompare.