Sistem de vid ultra-înalt fără ulei cu pompă de ioni de pulverizare

Sistem de vid ultra-înalt fără ulei cu pompă de ioni de pulverizare
Figura 5-15 prezintă diagrama conceptuală a sistemului. Pompa de ioni de pulverizare este pompa principală, iar două pompe cu sită moleculară sunt utilizate ca pompe de pre-pompare, dintre care una este folosită pentru a îndepărta gazul sub presiunea atmosferică din camera de vid și pompa de ioni de pulverizare, iar cealaltă este utilizată pentru îndepărtați gazul eliberat când pornesc pompa de coacere și ioni.

▲ Figura 5-15 Sistem de vid ultra-înalt fără ulei cu pompă de ioni de pulverizare: 1-camera de vid 2-Vacuometru BA 3- Supapă de vid ultra-înalt 4- ultra - supapă de vid înalt 5-pompă cu ioni de pulverizare 6- supapă de vid înalt 7- pompă cu sită moleculară 8- manometru cu termocuplu

Compania IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire cu unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com