Principiul de funcționare al PECVD - Tub P
Apr 19, 2024| PECVD Principiul de funcționare - Tubul P
Sistemul tubular PECVD este o serie de generatoare care utilizează barci de acoperire cu plăci paralele și excitatoare cu plasmă de joasă frecvență. La temperaturi scăzute și ridicate, generatorul de plasmă reacţionează direct în mediul montat în mijlocul plăcii acoperite.
Avantaje: În procesul de depunere, însoțit de producerea unui număr mare de atomi de hidrogen și ioni de hidrogen, proprietatea de pasivare a hidrogenului a plachetei de siliciu este foarte bună, iar raportul dintre silan și amoniac poate fi modificat pentru a obține diferiți indici de refracție
Companie IKS PVD, mașină de acoperire decorativă, mașină de acoperire cu unelte, mașină de acoperire DLC, mașină de acoperire optică, linie de acoperire în vid PVD, proiectul la cheie este disponibil. Contactați-ne acum, e-mail: iks.pvd@foxmail.com