Introducerea metodei de funcționare a mașinii de acoperire cu vid

Masina de acoperire cu vid este un instrument de acoperire care trebuie să funcționeze la un vid mai înalt. Se împarte în două tipuri de evaporare și pulverizare.

Procedeul de acoperire prin evaporare este, în general, materialul țintă de încălzire, care determină vaporizarea componentelor de suprafață ale materialului țintă prin formă atomică sau ionică și depus pe suprafața substratului, formând pelicula subțire prin procesul de formare a peliculei.

Acoperirea cu pulverizare poate fi înțeles pur și simplu ca folosirea electronilor sau a laserului cu energie înaltă pentru a bombarda ținta și a face ca componentele de suprafață ale țintei să fie pulverizate sub formă de atomi sau ioni și eventual depozitați pe suprafața substratului, film subțire prin procesul de formare a filmului.

Utilizați pașii:

1. Metoda de funcționare a dulapului de comandă electromecanic pentru acoperirea cu vid

(1) Deschideți pompa de apă și sursa de aer.

(2) Porniți alimentarea principală.

(3) Deschideți sursa de alimentare a pompei de reținere și a contorului de vid, poziția manometrului V1, așteptați valoarea mai mică de 10, apoi introduceți operația următoare. Probabil are nevoie de cinci minute.

(4) Porniți pompa mecanică, efectuați pre-pomparea, deschideți alimentarea pompei moleculare turbo și porniți pompa moleculară. Comutatorul manometrului este schimbat în poziția V2. După ce gradul de vid este pompat la mai puțin de 2, opriți pomparea și va dura 20 de minute.

(5) Când se observă că citirile pompei moleculare a turbinei ating 250, pompa este închisă, apoi se deschide pompa de susținere și supapele de vid înalte continuă să se evacueze. Numai după ce vacuumul atinge 2 × 10-3, alimentarea cu energie a pistolului electronic poate fi activată.

2. Funcționarea mașinii de acoperire cu vid

(1) Porniți alimentarea principală.

(2) În același timp, deschideți sursa de alimentare pentru controlul electronic al pistolului I și II: în funcție de comanda electronică a armei, se aprinde alimentarea cu energie electrică, întrerupătorul de întârziere și apoi lampa de întârziere, lampa de alimentare și lampa de protecție. După 3 minute lampa de întârziere și lampa de protecție se sting. Dacă ușa din spate nu este închisă sau dacă releul de debit este defect, lampa de protecție va fi mereu aprinsă.

(3) Deschideți presiunea înaltă, presiunea ridicată va ajunge la mai mult de 10KV, reglați fasciculul la aproximativ 200mA, grila ecranului este 20V / 100mA, curentul filamentului 1.2A, levierul curentului de deviere 1 ~ 1.7.

3. Secvența de închidere a mașinii de acoperire cu vid

(1) Opriți echipamentul ecartamentului și pompa moleculară.

(2) Când pompa moleculară arată până la 50, supapa de vid înaltă, pompa de sprijin și pompa mecanică sunt închise în ordine. Probabil are nevoie de 40 de minute.

(3) Când pompa moleculară arată mai puțin de 50, închideți pompa de reținere.