Introducerea regulatorului de debit de masă

Controlerul debitului de masă (MFC) este utilizat pentru măsurarea și controlul precis al debitului de masă al gazului. Acesta este, de obicei, compus din senzor de debit, supapă de control al debitului, circuit de comandă de amplificare și canal de control al șuntului. Sursa de alimentare de lucru și afisarea debitului și operațiunile de reglare prin intermediul sursei sale de alimentare cu afișaj de flux.

Utilizați și caracteristici

MFC joacă un rol important în cercetarea științifică și producție în multe domenii, cum ar fi industria semiconductorilor microelectronice, dezvoltarea materialelor speciale, industria chimică, industria petrolieră, medicina, protecția mediului și vidul.

Aplicațiile tipice includ: echipamente de procesare electronică, cum ar fi difuzia, oxidarea, epitaxia, CVD, gravarea cu plasmă, pulverizarea, implantarea ionilor; și echipamente de acoperire cu vid, Cromatografe cu gaz și alte instrumente analitice.

Controlerul debitului de masă și debitmetrul de masă cu o precizie ridicată, o repetabilitate bună, o viteză rapidă de răspuns, o pornire ușoară, un interval de presiune de lucru stabil și fiabil (care poate funcționa în condiții de presiune înaltă sau în vid), operațiunea este ușor de utilizat. MFC poate fi instalat în orice poziție și este conectat cu computerul pentru a realiza control automat.

Debitmetrul este în general împărțit în următoarele tipuri:

1. debitmetru volumetric

Utilizează elementul de măsurare mecanic pentru a împărți continuu fluidul într-o singură parte de volum cunoscută. Fluxul de volum al fluidului se măsoară în funcție de numărul de ori al volumului de lichid umplut și descărcat unul după altul în succesiune din camera de măsurare.

2. Debitmetrul cu flotor (debitmetrul rotorului)

Debitmetrul cu flotor este un fel de debitmetru variabil, într-un con vertical, de sus în jos, secțiunea circulară a gravitației flotorului este susținută de puterea lichidă, astfel încât plutitorul poate fi liber în conul Rise and fall.

3. Debitmetru de presiune diferențială

Se bazează pe presiunea diferențială produsă de detectorul de debit instalat în conductă, starea fluidului cunoscut și contorul pentru a calcula debitul dintre conductă și conductă.

4. Debitmetru de stradă (VSF)

Generatorul de vortexuri ne-eficiente este plasat în fluid și fluidul este separat alternativ pe ambele părți ale corpului generatorului pentru a elibera două serii de instrumente de vortex intercalate în mod regulat.

5. Debitmetrul turbinei

Acesta este principalul tip de debitmetru de viteză. Utilizează rotorul multiplu (turbina) pentru a detecta viteza medie a fluidului și deduce instrumentul de volum de debit sau cantitate totală.

6. Debitmetru cu ultrasunete

Se măsoară debitul prin măsurarea efectului fluxului de lichid pe fasciculul ultrasonic (sau pe pulsul ultrasonic).

7. Debitmetru electromagnetic

Debitmetrul electromagnetic este un instrument de măsurare a conductivității lichidului în conformitate cu legea inducției electromagnetice a lui Faraday.

8. Debitmetru de masă termică

Senzorul de debitmetru termic conține două elemente de detectare, un senzor de turație și un senzor de temperatură. Ele pot compensa și calibra automat schimbarea temperaturii gazului. Partea electrică de încălzire a instrumentului a încălzit senzorul de viteză la o anumită valoare mai mare decât temperatura condiției de lucru, astfel încât sa format o diferență constantă de temperatură între senzorul de turație și senzor la temperatura de lucru. Atunci când diferența de temperatură este menținută constantă, energia consumată prin încălzirea electrică este proporțională cu debitul masic al fluxului de gaz și este adecvată pentru măsurarea unui singur gaz și a unei proporții fixe de gaz multi-component.