Factorii cauzați de un film subțire subțire datorită mașinii de acoperire prin pulverizare Magnetron Sputtering

Factorii cauzați de stratul de film neuniform cauzat de mașina de acoperire cu vid de pulverizare magnetron includ trei aspecte: starea de vid, câmpul magnetic și gazul de argon.

Principiul de lucru al mașinii de acoperire prin pulverizare cu magnetron pulverizator este acela că sub starea de vid, electronul câmpului magnetic ortogonal pentru bombardarea argonului și formarea ionului de argon, apoi bombardarea materialului țintă, astfel încât ionul țintă poate fi depus pe suprafața piesei de lucru pentru a forma o peliculă subțire.

Starea de vid necesită sistemul de pompare pentru a controla și fiecare ventil ar trebui să fie acționat simultan și consecvent. Dacă pomparea nu este uniformă, presiunea din camera de vid va fi inegală. Presiunea are o anumită influență asupra mișcării ionilor. În plus, timpul de pompare trebuie controlat. Prea scurtă va cauza vid insuficient, dar este prea lungă și o pierdere de resurse.

Câmpul magnetic funcționează ortogonal, dar este imposibil ca intensitatea câmpului magnetic să fie 100% uniformă. În cazul în care câmpul magnetic general este puternic, grosimea filmului este mare, dar este mică dimpotrivă, astfel încât va cauza incoerența grosimii filmului. Cu toate acestea, în procesul de producție, inegalitatea filmului datorată neuniformității câmpului magnetic nu este obișnuită.

Argonitatea uniformă a gazului afectează, de asemenea, uniformitatea filmului, iar principiul este similar cu vidul. Deoarece argonul intră în camera de vid, presiunea din interiorul camerei se va schimba. Presiunea uniformă poate controla uniformitatea grosimii peliculei mașinii de acoperire sub vid a magnetronului.

Pentru mai mult de un deceniu, IKS specializată în toate tipurile de echipamente de acoperire cu vacuum de fabricare a echipamentelor de aplicare, dedicate cercetării și dezvoltării și producției de mașini de acoperire cu vid, cu cea mai recentă tehnologie de producție constantă îndeplinesc nevoile pieței de echipamente de acoperire în vid, oferind clienților personalizate soluții tehnologice și echipamente.