Materiale experimentale și metode pentru efectul sursei de arc pe curent
Jun 22, 2018| În această lucrare, filmele subțiri TiN s-au depus pe substrat din oțel inoxidabil și plachetă de Si prin mașină de acoperire cu ioni multi-arc. Efectul curentului sursei de arc asupra structurii și proprietăților tribologice ale filmelor subțiri TiN a fost studiat din principiul placării cu ioni multipli.
Materiale și metode experimentale
Materialul substratului este din oțel inoxidabil (1Cr18Ni9Ti) de 20 mm × 20 mm × 2 mm, cu plachete din Si. Prepararea filmului a fost realizată pe o mașină de acoperire cu ioni multi-arc. Proba a fost lustruită mecanic, spălată cu alcaline, curățată cu ultrasunete în alcool și, în cele din urmă, uscată complet într-o cameră de acoperire curată. Înainte de procesul de acoperire, substratul a fost curățat prin gravare Ar + timp de 5 minute. Debitul gazului de argon în timpul acoperirii a fost zero, iar debitul fix de N2 a fost de 0,22 SLM / s. Parametrii specifici ai procesului sunt enumerați în Tabelul 1.
Tabelul 1 Parametrii procesului de depunere a filmului TiN
| Sursa curentului de arc (A) | Presiunea (x10 -1 Pa) | Temperatura de sudură (℃) |
| 40 | 4.8 | 290 |
| 50 | 4.5 | 306 |
| 60 | 4.3 | 326 |
| 70 | 3.3 | 345 |
| 80 | 2.4 | 30 |
| 90 | 1.3 | 398 |
| 100 | 1.0 | 402 |
Morfologia suprafeței și morfologia suprafeței fracturii a filmului au fost observate prin microscopie electronică prin scanare prin emisie în câmp (FE-SEM). Duritatea filmului TiN a fost măsurată cu un tester de microduritate cu încărcătura de 25 g, iar timpul de încărcare este de 10 s. Coeficientul de frecare al filmului a fost măsurat prin dispozitiv de laborator auto-modificat. Proba de TiN este combinată cu oțelul A3 pentru a forma o pereche de perechi de frecare. În timpul testului, proba superioară este fixată, discul din oțel A3 se rotește în frecare uscată, viteza de rotație este de 0,87 rev / min și sarcina experimentală este 1N.