Caracterizarea gradului de vid, unității și divizării regiunii de vid

Caracterizarea gradului de vid, unității și divizării regiunii de vid

IKS PVD, suntem fabricarea de echipamente de acoperire PVD vid, contactați-ne acum, iks.pvd @ foxmail.come

Nu este foarte rezonabil să se folosească presiunea pentru a reprezenta gradul de vid, care a fost folosit în istoria măsurării vidului prin manometrul tip u.

În sistemul de vid în general, cantitatea fizică hidrostatică a presiunii gazului neutru izotrop este de obicei utilizată pentru a exprima gradul de vid. Prin urmare, măsurarea gradului de vid doar se reduce la măsurarea presiunii. Cu toate acestea, ar trebui să se acorde o atenție deosebită condițiilor de măsurare, care sunt mișcarea staționară (mișcare aleatorie), starea de echilibru și izotropul gazului neutru unic într-un recipient finit. În acest caz, distribuția vitezei maxwell, legea împrăștierii cosinusului și conceptul de presiune hidrostatică (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) sunt relativ consecvente cu realitatea obiectivă, măsurarea gradului de vid este relativ simplă și ușoară.

Conform definiției gradului de vid, este mai bine să se exprime gradul de vid prin densitatea moleculară n și nu este contradictoriu să se exprime gradul de vid prin presiune. Când se măsoară presiunea, gazul este în general într-o stare de echilibru și satisface legea lui Maxwell de distribuție a vitezei, adică p = nkT este adevărată. Temperatura gazului este constantă în momentul măsurării, astfel încât presiunea gazului p este proporțională cu densitatea moleculară n. Cu alte cuvinte, presiunea este o măsură a densității moleculare, astfel încât vidul poate fi exprimat sub presiune.

În cercetarea spațială, obiectul de cercetare este mișcarea spațiului infinit (1 ~ 10 KMS - 1 sau mai mare) și sub acțiunea unei atmosfere complexe instabile, integrate, legea distribuției vitezei maxime și legea împrăștierii cosinusului nu neapărat a pierdut semnificația fizică originală, astfel încât presiunea măsurării vidului este mai complexă și mai dificilă.

În general, este popular și folosit pentru a exprima gradul de vid sub presiune, dar nu este singurul. Următorii parametri pot fi de asemenea utilizați pentru a exprima gradul de vid:

Atunci când gradul de vid este foarte mare, adică, când densitatea moleculară este foarte mică, fluctuația statistică este foarte evidentă. De exemplu, când presiunea p = 10-12pa, fluctuația statistică este mai mare de 5 ori 10-2, iar presiunea și-a pierdut semnificația reală. Astfel, în unele cazuri, presiunea este doar un indicator relativ al altor cantități .

1. Întrebări și răspunsuri

Unități de vid?

Presiunea unui gaz definit prin coliziunea unei molecule de gaz pe o suprafață este rata de schimbare de timp a componentei verticale a impulsului unei molecule de gaz care se ciocnește cu o suprafață a unității de suprafață, adică forța primită pe unitatea de suprafață în Pascal sau Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

În inginerie, uneori valoarea pa este prea mică, kPa și MPa sunt adesea folosite pentru a exprima presiunea. Vapa joasă, uneori exprimată ca "procente de vid", cum ar fi pompa de vid cu inel de apă, pompa de vid cu piston reciproc și pompa de vid cu rădăcini de aer drepte, deseori exprimate în acest vid de unitate. Când presiunea p> 102Pa, procentul de vid este delta.

Unde: p0 - presiunea atmosferică standard, Pa

Zonarea prin vid

Cu o unitate pentru măsurarea gradului de vid, gradul de vid poate fi exprimat cantitativ. Cu toate acestea, în prezent, intervalul de presiune implicat în tehnologia vidului a ajuns la 20 de ordine de mărime, pentru a facilita utilizarea, uneori este necesar doar să se sublinieze aproximativ gama generală a gradului de vid, de obicei calitativ împărțit în mai multe regiuni . Caracteristicile fizice ale mișcării moleculare a gazului în stare de vid și domeniul efectiv de lucru al pompei de vid și a manometrului sunt considerate în baza diviziunii regiunilor.

În ceea ce privește divizarea regiunilor de vid în China, termenii tehnologiei de vid (gb3163-1982) prevăd următoarele:

Aspiratul brut, vidul scăzut și vidul înalt sunt împărțite în funcție de traiectoria medie liberă a moleculelor de gaz în comparație cu dimensiunea caracteristică d a recipientului. Principalul aspect este dacă coliziunea dintre moleculele de gaze sau coliziunea dintre moleculele de gaz și peretele dispozitivului joacă un rol decisiv în apariția fenomenelor fizice.

Limita dintre vidul înalt și vidul ultra-înalt este setată ca 10-6Pa. Principalul motiv este să ia în considerare mecanismul de adsorbție fizică în vid. Numai atunci când presiunea p <10-6pa este="" evidentă,="" poate="" fi="" obținută="" de="" pompa="" de="" difuzie="" pentru="" extracție,="" iar="" presiunea="" este="" măsurată="" prin="" ba=""> În ceea ce privește limita dintre vidul ultra-înalt și vidul ultra-înalt, se datorează faptului că fluctuația statistică (mai mare de 5 * 10-2) are loc când p <10-12>

Regiunile de vid de mai sus sunt împărțite în regiuni reprezentând un interval de presiune, pentru că presiunea este încă exprimată în grade. Totuși, într-un vid scăzut, un vid înalt, un vid foarte înalt și un vid foarte înalt, presiunea la care se face referire este în esență diferită, doar o indicație relativă a altor cantități.

Caracteristicile fizice ale vidului, pompei de vid și gabaritul de vid utilizate în fiecare regiune sunt detaliate în tabelul 1.

Odată cu dezvoltarea tehnologiei de vid, sa schimbat și divizarea regiunilor de vid.